판매용 중고 BALZERS BAS 450 #9232322

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ID: 9232322
Sputtering system With AK 510 planar magnetron sources Includes: Chamber Electronics rack Water battery Source power supply Cryo compressor Transformer: 480 V.
BALZERS BAS 450은 박막 코팅의 증착을 위해 설계된 고성능 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 박막 증착 (Thin-film deposition), 나노 물질 생산 (Nanomaterial production), 장치 제조 (Device Manufacturing) 와 같은 어플리케이션에 이상적인 다양한 이점을 제공합니다. 첫째, 이 장치의 스퍼터링 챔버 (sputtering chamber) 에는 자동 음극기 (automated cathode machine) 와 펄스 (pulse) 설정이 장착되어 금속 표적의 증착을 자세히 제어 할 수 있습니다. 이를 통해 목표 대 기판 거리가 증가하고 박막 증착의 균일성이 향상됩니다. 이 도구에는 조절 가능한 고주파 (High-Frequency) 전원 공급 장치도 장착되어 있어 증착율과 정확도를 보다 잘 제어할 수 있습니다. BAS 450 (BAS 450) 은 견고한 진공 자산으로 만들어졌으며, 확산 펌프와 결합된 터보 분자 펌프 (turbo molecular pump) 로 구성되어 있으며, 모델이 원하는 진공 수준에 빠르고 안전하게 도달 할 수 있습니다. 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 만든 녹에 강한 선박은 유지 보수 및 청소를 용이하게하여 코팅 생산의 다운타임을 최소화하도록 설계되었습니다. BALZERS BAS 450의 강력한 마그네트론 스퍼터링 장비는 더 높고 일정한 증착률을 보장합니다. 또한 광범위한 금속 표적을 지원하도록 설계되었으며, 입사 이온 전류 (incident ion current) 와 이온 용량 (ion dose) 이 우수한 접착력과 부드러운 표면을 제공하도록 최적화되었습니다. 그 결과 표면 경도, 내마모 내성 및 내식성이 향상됩니다. 이 시스템에는 반응성 스퍼터 증착을위한 멀티 가스 입구 장치도 장착되어 있습니다. 이 기능은 다양한 재료와 반응을 사용하여 부식 내성 코팅의 생산을 가능하게합니다. 고정밀도 증착, 코팅 (coating) 의 균일성, 자동 음극 및 원자로 시스템이 제공하는 추가 자동화 (extra automation) 의 조합으로, 더 짧은 시간 안에 고수준 박막 코팅의 효율적이고 꾸준한 생산을 가능하게합니다. 전반적으로 BAS 450 스퍼터링 머신은 뛰어난 성능, 제어, 안전, 신뢰성을 제공하며 모두 고품질의 박막 코팅을 제공합니다. 이 툴은 간편한 액세스, 유지 보수, 통합 자동화 기능을 통해 생산에 유용한 이점을 제공하므로, 생산 시간 단축, 소재 비용 절감, 생산량 증대 등의 효과를 얻을 수 있습니다.
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