판매용 중고 BALZERS BAS 450 PM #293650881
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ID: 293650881
Co-sputtering systems
(2) Power supply boxes
Water supply
Pumps
Non-functional:
Safety circuit
Single switch.
BALZERS BAS 450 PM은 박막 구조 제작에 사용되는 산업용 스퍼터링 장비입니다. 여러 가지 전자 장치, 광학 장치, 광전자 장치 (Optical Device) 를 만드는 데 사용되는 균일 하고 반복 할 수 있는 "나노스케일 '층 을 증착 할 수 있게 해 주는, 물질 을 기판 표면 에 코팅 하는 강력 한 도구 이다. BAS 450 PM (BAS 450 PM) 은 통풍이 잘 된 챔버를 갖춘 컴팩트한 디자인으로, 다양한 설정에서 사용할 수 있습니다. 약실에는 3 개의 스퍼터링 소스가 있으며, 단순하고 효율적인 퇴적 과정이 가능합니다. 이 시스템은 또한 기판 히터 (기질 히터) 를 가지고 있으며, 최대 1000 ° C의 온도에 도달 할 수 있으며, 스퍼터링 중 기판 온도를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 장치는 강력한 300W DC 마그네트론 스퍼터링 건 (magnetron sputtering gun) 을 특징으로하여 초고속 스퍼터링 속도를 가능하게하여 다양한 재료를 증착 할 수 있습니다. 이 총은 프로세스의 요구 사항에 따라 직접 (direct) 또는 간접 (indirect) 스퍼터링을 위해 구성 될 수 있습니다. 스퍼터링 건 (Sputtering gun) 은 고전압 플라즈마 환경을 생성 할 수 있으며, 효율성이 높은 재료 증착을 촉진합니다. BALZERS BAS 450 PM에는 터보 펌프 (turbo pump) 옵션도 있어 기계 감도 및 기판 온도 제어가 크게 개선되었습니다. 터보 펌프 (turbo pump) 는 증발 입자의 고급 여과 및 챔버 압력의 감소를 허용합니다. 이로 인해이 도구는 나노 스케일 구조의 초미세 증착에 매우 적합합니다. 그 에 더하여, 자산 에는 배수구 가 갖추어져 있어서, 사용 된 "스퍼터링 '재료 를 쉽게 제거 할 수 있다. 이 기능은 기판 (substrate) 이나 챔버 (chamber) 에 입자를 쌓는 것을 방지함으로써 안전성을 증가시킵니다. BAS 450 PM에는 또한 침실 입자가 진공실을 탈출하지 못하게하는 방패가 장착되어 있습니다. 전반적으로 BALZERS BAS 450 PM은 균일하고 반복 가능한 증착으로 복잡한 박막 구조를 만드는 훌륭한 스퍼터링 모델입니다. 강력한 스퍼터링 건 (Sputtering Gun), 조절 가능한 기판 히터, 고효율 터보 펌프 (Turbo Pump) 가 있어 광범위한 프로세스에 적합합니다. 이 장비에는 오염을 방지하기 위한 드레인 (Drain) 과 실드 (Shield) 가 있어 안전하고 효율적인 작동을 보장합니다.
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