판매용 중고 BALZERS BAK 642 #293598217
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ID: 293598217
빈티지: 2004
Sputtering system
SIEMENS Control cabinet
Chamber
Rotating basket
Pre-pump set
Turbo pump
Control retrofit plant
2004 vintage.
BALZERS BAK 642 스퍼터링 장비는 스퍼터링, 증발 및 PVD와 같은 박막 증착 공정을 위해 설계된 산업용 박막 증착 장치입니다. BAK 642에는 이동식 4축 로봇, 자동 작동 및 여러 증착 소스를 포함한 고급 기능이 포함되어 있습니다. 이 시스템은 유연성이 높도록 설계되었으며 최대 4 개의 증착원을 수용 할 수 있습니다. 사용 된 물질에 따라, 소스는 스퍼터링, 증발, 전자 빔 증발, 음극 호 증발 및 펄스 아크 증착에 사용될 수있다. 이 장치의 로봇 암 (robot arm) 은 증착원과 기판을 최적화하여 정확하고 반복 가능한 증착 성능을 허용합니다. BALZERS BAK 642의 증착 구성 요소는 PLC (Computerized Programmable Logic Controller) 에 의해 제어됩니다. 사용자는 PLC (Plosition Source) 를 통해 각 레이어 또는 재료의 증착에 필요한 시간, 각 배치 소스에 대한 설정을 프로그래밍할 수 있습니다. 또한 순차적 증착을 위해 여러 층의 증착을 프로그래밍 할 수 있습니다. BAK 642는 사용이 간편하도록 설계되었습니다. 여러 가지 재료 를 증착 의 근원 으로 사용 할 수 있으며, PLC 는 필요 한 한 쉽게 "스왑 '하거나" 아웃' 할 수 있게 해 준다. 스퍼터링 머신 (sputtering machine) 의 챔버는 눈에 띄는 성능을 위해 설계되었으며, 온도와 전압 설정은 최적화 된 조건에 맞게 조정이 가능합니다. 제어 및 진공 가스는 독립적으로 조절 될 수 있으며, 이는 매우 정확한 프로세스를 가능하게합니다. BALZERS BAK 642에는 도구 성능과 설정을 쉽게 모니터링할 수 있는 컬러 LCD 터치 스크린이 장착되어 있습니다. 터치 스크린 (Touch Screen) 은 또한 자산 제어 및 프로그래밍을위한 인터페이스 역할을하며, 직관적인 사용자 경험을 제공합니다. 또한, 모델은 모바일 장치 또는 컴퓨터로 인터페이스 및 제어 할 수 있습니다. BAK 642 스퍼터링 (Sputtering) 장비는 씬 필름 증착 (Thin Film Deposition) 프로세스를 위한 탁월한 선택으로 구성 가능하지만 사용이 간편합니다. 다중 증착 소스와 "로봇 '암은 뛰어난 유연성과 정확한 제어를 가능하게 하며, 소프트웨어는 직관적인 작동과 뛰어난 신뢰성을 제공합니다. 그 결과, 산업 및 연구 용도로 강력하지만 저렴한 박막 증착 시스템이 탄생했습니다.
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