판매용 중고 BALZERS 810 #293650477

BALZERS 810은 무선 주파수 플라즈마 스퍼터링 (sputtering) 을 사용하여 열 증발 또는 스퍼터링을 통해 금속, 합금 및 화합물의 박막을 생성하는 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 이온 소스, 웨이퍼 스테이지, 증착실, RF 전원 공급 장치, 기판 홀더, 대피 펌프, 프로세스 컨트롤러 등 다양한 구성 요소로 구성됩니다. 이온 소스는 대상 물질을 스퍼터링하는 데 필요한 플라즈마를 생성하는 데 사용됩니다. 이온 소스는 일반적으로 적용에 따라 정전기, 뜨거운 전자 또는 고밀도 플라즈마 소스입니다. 장치 의 "웨이퍼 '단계 는 증착 과정 중 에 기판 을 유지 하는 데 사용 된다. 이 단계는 일반적으로 진공 밀봉 웨이퍼 홀더로 구성되며, 증착 균일성 향상을 위해 기판을 3 차원으로 이동하도록 프로그래밍 할 수 있습니다. 증착실은 스퍼터링 과정이 진행되는 곳입니다. 이 챔버는 일반적으로 알루미늄 (Aluminum) 과 스테인리스 스틸 (Stainless Steel) 로 구성되며 진공 조임 밀봉이 있으며 증착 과정을 시각적으로 검사 할 수있는 뷰포트가 장착되어 있습니다. 방에는 이온 원 (ion source) 과 기판 단계 (기판 단계) 가 있으며 공정 가스를 대피하기 위해 배기 기계가 장착되어 있습니다. RF 전원 공급 장치는 스퍼터링에 필요한 전기 에너지를 공급하는 데 사용됩니다. 이러한 전원 공급 장치는 일반적으로 최대 1000 와트의 전원 수준을 제공하며 가변 펄싱 주파수 (variable pulsing frequency) 를 제공하여 각 응용 프로그램에 맞게 프로세스 창을 최적화할 수 있습니다. 공구의 기판 홀더는 스퍼터링 프로세스 (sputtering process) 동안 기판을 유지하는 데 사용되며 일반적으로 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 구성됩니다. 이 홀더는 증착이 균일하게 개선 될 수 있도록 프로그래밍 적으로 배치 될 수 있습니다. 자산의 대피 펌프 (evacuation pump) 는 스퍼터링 과정에서 저압을 유지하는 데 사용되며 일반적으로 터보 (turbo) 또는 스크롤 펌프 (scroll pump) 로 구성됩니다. 프로세스 컨트롤러는 온도, 압력, 전원, 증착률 등 프로세스 매개변수를 제어하는 데 사용됩니다. 이 "컨트롤러 '는 증착 과정 을 정확 히 제어 하도록" 프로그램' 될 수 있어서 증착 통일성 을 향상 시킬 수 있다. 전반적으로, 810 (810) 은 다양한 응용 분야에 광범위한 재료를 배치하는 데 사용될 수있는 고도의 스퍼터링 모델입니다. 이 장비는 연구 용도에 적합하며, 특히 금속과 합금의 초박막 (ultra-thin film) 을 생산하는 데 유용합니다. 스퍼터링 공정은 고품질 박막의 균일 한 증착을 위해 정확하게 제어 할 수 있습니다.