판매용 중고 BALZERS 450 #9241801

BALZERS 450 (BALZERS 450) 은 초슬림, 균일 한 레이어로 다양한 표면을 코팅하는 데 사용되는 첨단 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 소형의 차원과 보편성 (universality) 으로 인해 재료 연구자와 엔지니어 모두에게 다양한 가능성을 제공합니다. 450은 중간 규모 패키지로 세계적 수준의 성능을 제공합니다. 이 스퍼터링 장치는 4 중 마그네트론 클러스터 소스 메커니즘을 사용하여 동일한 챔버 내에서 최대 4 개의 개별 대상을 사용할 수 있습니다. 따라서 균일성이 높은 다중 구성 요소 레이어를 배치하는 데 이상적입니다. BALZERS 450은 빠른 릴리스 대상 클램프 (clamps) 와 빠른 설치 진공 인감 (vacuum seal) 을 제공하여 쉽게 대상을 교환하고 진공 챔버를 유지 관리할 수 있습니다. 일반적으로 운영 환경에서 빠르고 안정적인 레이어 증착을 위해 사용됩니다. 450은 또한 DC 및 펄스 전원 모두에서 최대 3kW의 고전력 장치를 갖추고 있습니다. 이를 통해 매우 균일하고, 잘 고착 된 고유 한 레이어 특성을 달성 할 수 있습니다. 장치의 절대 압력 균형이 최소화되어 VID (Vacuum Ion Deposition) 프로세스를 달성 할 수 있습니다. 이 과정을 통해 기판 온도가 감소하더라도 고품질의 두꺼운 레이어가 증착됩니다. BALZERS 450은 다중 가스 소스 (multi-gas source) 로 설계되었으며, 각 컴포넌트에 대해 독립적 인 흐름 제어를 사용하여 쉽게 조정할 수 있습니다. 따라서 복잡한 예금을 만들 때 높은 수준의 유연성을 얻을 수 있습니다. 이 장치는 또한 두 가지 다른 유형의 기판을 동시에 처리 할 수 있으며, 이는 다이 (dies), 트랜지스터 (transistor) 및 기타 구성 요소를 가진 복잡한 표면을 극도로 정확하게 코팅 할 수 있습니다. 마지막으로, 450은 PLC 제어 및 연결된 프로세스 제어 시스템 (예: IPM, SCADA 또는 Fieldbus) 을위한 고급 자동화를 갖추고 있습니다. 이를 통해 특정 프로세스 레시피를 프로그래밍하고 프로세스 상태를 쉽게 모니터링할 수 있습니다. 결론적으로 BALZERS 450은 강력하고 정밀한 스퍼터링 기계입니다. 초슬림 (ultra-thin), 균일 한 층 (uniform layer) 을 다양한 표면에서 빠르고 반복적으로 증착 할 수있는 컴팩트하고 효율적인 장치입니다. 이 장치는 정확하고, 고품질 레이어 증착이 필요한 재료 연구원 및 엔지니어에게 이상적인 선택입니다.