판매용 중고 AST / ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY PSUR 100VB #293671935

AST/ADVANCED Equipment TECHNOLOGY PSUR 100VB는 다양한 프로세스를 위해 설계된 최첨단 스퍼터링 시스템입니다. 이 장치는 다양한 증착 기술을 사용하여 박막 (thin film) 을 기판에 스퍼터링 할 수 있습니다. 이 기계는 초슬림 박막 증착에 이상적이며, 뛰어난 일관성과 제어를 제공합니다. AST PSUR 100VB는 자동 플라즈마 전달 기능을 갖춘 재사용 가능한 소스 스퍼터 도구입니다. 구리, 알루미늄, 니켈, 티타늄, 구리 텅스텐, 크롬 등과 같은 다양한 영화를 스퍼터링 할 수 있습니다. 스퍼터링, CVD, 에칭 등과 같은 다중 단위 프로세스에도 적합합니다. 이 자산은 완벽한 필름 균일성 및 오류 없는 작동을 위해 마이크로 미터 제어 기판 홀더 지원을 제공합니다. ADVANCED Model TECHNOLOGY PSUR 100VB는 직관적인 사용자 환경을 제공하는 디지털 터치 인터페이스를 자랑합니다. 제어판에는 실시간 프로세스, 매개변수, 설정, 프로세스 환경 및 기타 정보가 표시됩니다. 사용자는 사이트 선택, 증착률, 온도, 타이밍 등 개별 프로세스 단계를 사용자 정의할 수 있습니다. 고급 스퍼터링 소스 설계 (sputtering source design) 의 도움으로, 장비는 균일 한 필름 레이어와 정확한 제어를 만들 수 있습니다. PSUR 100VB에는 PC, 태블릿, 스마트폰에서 원격으로 시스템을 운영, 관리할 수 있는 원격 제어 기능이 장착되어 있습니다. 이를 통해 장치 구성 요소의 작동 및 안전 도중에 편리하게 액세스할 수 있습니다. 또한 내장 턴오프 머신 (Turnoff Machine) 및 이동식 도어 (Removable Door) 와 같은 고급 안전 기능이 제공됩니다. AST/ADVANCED TOOL TECHNOLOGY PSUR 100VB는 광범위한 생산 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 로드 락 챔버, 10 인치 필름 챔버 및 매크로 툴 핑거가 장착되어 있습니다. 이를 통해 매우 얇은 레이어에 대한 정확한 공구가 가능합니다. 에셋은 또한 2 ° 의 동축 회전과 10 개의 패턴 가능성을 가진 카운터 밸런스 로터리 지원 (counterbalanced rotary support) 을 가지고 있습니다. 성능 측면에서, 소스 스퍼터 모델은 최대 스퍼터 증착률 5 nm/min을 제공합니다. 전반적으로, AST PSUR 100VB는 박막 증착 공정을 완벽하게 제어하면서 정확성과 정확성을 제공하는 안정적인 소스 스퍼터 (sputter) 장비입니다. 직관적인 터치스크린 (Touchscreen), 향상된 안전 기능 (Safety Features), 리모콘 (Remote Control) 을 포함한 고급 기능을 통해 다양한 스퍼터링 어플리케이션에 적합한 옵션을 선택할 수 있습니다.