판매용 중고 APPLIED VISION ARx10 #9358080

APPLIED VISION ARx10은 연구 및 개발 목적으로 특별히 설계된 스퍼터링 장비입니다. 단일 (single) 및 이중 (dual) 전원을 조합하여 다양한 스퍼터링 응용 프로그램을 사용할 수 있습니다. 이 "시스템 '의 구성 은 유리, 금속, 반도체 재료 등 여러 가지 기판 을 효율적 으로 처리 할 수 있도록 설계 되었다. ARx10의 최대 RF 전력은 10kW, 거리 범위는 90mm-200mm, 작동 봉투는 500mm (x) -325mm (y) -150mm (z) 로 크기가 다른 기판을 수용합니다. 토크 파워 섹션은 3 개의 스테퍼 모터를 사용하여 세타와 phi를 제어하여 스퍼터링 각도를 정확하게 제어합니다. 2 개의 리프트 펌프, 터보 펌프 및 1 개의 기계식 펌프로 둘러싸인 고진공 챔버가 특징입니다. 독립적 인 차동 펌핑 장치 (differential pumping unit) 는 다양한 스퍼터링 적용 조건에 대해 다른 압력 범위의 기판에 스퍼터 증착을 허용합니다. 자동화된 기판 처리 기계는 스퍼터링 프로세스를 포괄적으로 제어합니다. 고급 제어 (Advanced Control) 기능을 사용하면 스퍼터링 시 가스 흐름, 입사각, 빔 전원 등의 매개변수를 모니터링하고 수정할 수 있습니다. 약실의 온도는 활성 온도 조절 도구 (active temperature regulation tool) 에 의해 일정한 수준으로 유지됩니다. 또한이 자산에는 샘플 전송을 용이하게하기 위해 동력 로봇 팔이 장착되어 있습니다. APPLIED VISION ARx10은 불균형 스퍼터링, 그림자 마스크 스퍼터링, 접촉 스퍼터링, 공동 스퍼터링 등 다양한 스퍼터링 기술을 사용하여 우수한 접착 특성을 가진 다양한 박막 (thin film) 을 효율적이고 정확하게 증착 할 수 있습니다. 이 모델은 또한 마그네틱 미디어 체인지포트 (magnetic media changeport) 장비를 갖추고 있어 빠르고 쉬운 미디어 및 기판 교환이 가능합니다. 이 "시스템 '의 크기 와 융통성 있는 설계 는 실험실 이나 생산 환경 에 사용 하기 에 이상적 이다. 직관적인 사용자 인터페이스, 포괄적인 제어 기능, 효율적인 미디어 처리 장치 (Media Handling Unit) 를 갖춘 ARx10은 스퍼터링 어플리케이션을 위한 포괄적인 솔루션을 제공합니다.