판매용 중고 ANELVA ILC 3935S #9044102

ANELVA ILC 3935S는 박막 증착 공정을 수행하는 데 사용되는 산업 스퍼터링 장비입니다. 이 "시스템 '은" 마그네트론 스퍼터링' 의 과정 을 이용 한다. 진공 기반 공정으로, 철강, 플라스틱, 유리, 도자기, 실리콘 등과 같은 다양한 재료에 고품질 박막을 증착 할 수 있습니다. 또한 높은 증착율, 뛰어난 균일 성, 오래 지속되는 내구성으로도 유명합니다. ILC 3935S 는 완전 밀봉 스퍼터링 (sputtering) 장치로서, 기계 내에서 단일 챔버 대상을 관찰 할 수있는 광학 창이 특징입니다. 이 챔버에는 터보-분자 펌프 (turbo-molecular pump) 가 장착되어 높은 진공 속도를 지속적으로 유지합니다. 또한 분산 스퍼터링 (sputtering) 목표 영역 탐지 도구가 장착되어 정확하고 일관된 스퍼터링이 가능합니다. 또한, 챔버에는 가스 제어 자산이 있으며, 아르곤 흐름을 안정적이고 정확하게 제어합니다. 이 모델은 고주파 전원 공급 장치로 구동되며 플라즈마 생성을 제공합니다. 고급 컨트롤러와 함께 제공되므로, 프로세스를 정확하게 제어할 수 있습니다. ILC 는 반응성 스퍼터링 전원, 필름 두께, 증착률 등을 자동으로 조정하여, 빠르고 효율적인 프로세스 제어를 가능하게 합니다. 또한, 장비에는 온도 조절 센서 (temperature control sensor) 가 장착되어 챔버의 온도 변화를 빠르게 구별 할 수 있습니다. 이를 통해 공정 조건을 정확하게 제어하여 고정밀 필름 증착을 달성 할 수 있습니다. 또한, 이 시스템은 간섭 방지 보호 장치 (Anti-Interference Protection Device) 와 내장 연속 모니터링 장치 (Continuous Monitoring Unit) 를 통해 안전 및 환경 규정을 모두 충족하도록 설계되었습니다. 이는 인력과 환경의 안전을 보장하는 한편, 운영 안정성을 보장하는 데 도움이 됩니다. 마지막으로, ANELVA ILC 3935S에는 작업 시뮬레이션 머신이 장착되어 있으므로 다양한 프로세스를 조사 할 수 있습니다. 이를 통해 스퍼터링 (Sputtering) 동작에 대한 더 많은 통찰력을 제공하여 프로세스 최적화를 통해 성능을 향상시킬 수 있습니다.