판매용 중고 ANATECH / TECHNICS HUMMER X #9307601

아나텍/테크닉스 허머 X (ANATECH/TECHNICS HUMMER X) 는 실리콘 웨이퍼 및 기타 평평한 표면 재료와 같은 기판에 박막 증착을 위해 설계된 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 고유 한 증발 프로세스를 사용하여 300 ° C ~ 800 ° C의 온도에서 박막을 퇴적시킵니다. 이 장치에는 이중 도가니 디자인 (crucible design) 이 포함되어 있으며, 두 개의 다른 재료를 동시에 챔버에 적재 할 수 있습니다. HMI (Human Machine Interface) 가 내장 된 완전 자동화 된 기계로, 사용자는 압력, 온도, 스퍼터링 파워 및 기타 설정과 같은 증착 매개변수를 제어 할 수 있습니다. 사용자는 특정 응용 프로그램에 대한 사용자 정의 레시피를 프로그래밍할 수도 있습니다. 스퍼터링 머신에는 초고 진공 및 고온 작동이있는 진공 챔버가 있습니다. 이것은 cryopump를 사용하지 않고 10-6 torr의 기본 압력을 달성 할 수 있습니다. 챔버 디자인은 또한 11 인치 소스-기판 거리 (source-to-기판 거리) 의 높은 공간 해상도를 갖추고 있으며, 필름 균일성과 두께를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이중 도가니 (crucible) 설계로 인해이 도구는 서로 다른 두 재료의 동시 증착을 가능하게 하며, 다양한 구성과 두께를 가진 다중 레이어 스택 (multilayer stack) 을 생성할 수 있습니다. ANATECH HUMMER X에는 안전 예방 조치를 개선하기위한 여러 가지 안전 기능 (예: 연동 안전 스위치 및 압력 스위치) 도 포함되어 있습니다. 에셋에는 ULPA 필터가 장착되어 있으며, 이는 0.3 미크론보다 큰 입자의 99.97% 가 필터링되도록 보장합니다. 또한, 모델은 온도 균일 (± 1 ° C) 을 유지하여 전체 기판 표면에서 균일 한 강착을 보장 할 수 있습니다. 전반적으로 테크닉스 허머 X (TECHNICS HUMMER X) 는 다양한 기판에 고품질의 박막 증착을 위해 설계된 다양한 기능을 갖춘 강력한 스퍼터링 장비입니다. 이중 도가니 디자인 (crucible design) 을 통해 여러 재료를 동시에 증착할 수 있으며, 사용자는 코팅 요구 사항에 더 큰 유연성을 제공합니다. 이 시스템에는 인터록 안전 스위치 (Interlock Safety Switch) 및 압력 스위치 (Pressure Switch) 와 같은 여러 안전 기능이 포함되어 있어 운영자에게 안전한 환경을 보장합니다. HUMMER X는 고정밀 온도 조절 및 고해상도 증착 제어를 통해 박막 응용에 이상적인 단위입니다.