판매용 중고 ANATECH / TECHNICS HUMMER X #9070897

ID: 9070897
Sputtering system Au/Pd Target.
아나텍/테크닉스 허머 X (ANATECH/TECHNICS HUMMER X) 는 기판 재료의 최적의 표면 범위를 제공하도록 설계된 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 물리적 증기 증착 (PVD) 과 같은 박막 증착 프로세스에 이상적입니다. 아나텍 허머 X 스퍼터링 장치 (ANATECH HUMMER X sputtering unit) 는 고급 펄스 전원 공급 장치를 사용하여 안정적인 스퍼터 프로세스를 제공하고 재료의 균일 한 증착을 보장합니다. TECHNICS HUMMER X는 균일 한 커버리지로 최대 16cm3/min의 증착률을 제공하도록 설계되었습니다. 모듈 식 진공 챔버 (vacuum chamber) 를 갖추고 여러 소스로 유연한 구성을 가능하게 합니다. 이 챔버는 또한 탁월한 프로세스 제어 및 모니터링을 위해 최적화된 광학 창 (optical window) 설계를 갖추고 있습니다. 유연성을 높이기 위해, 기계는 프로세스 또는 증발 소스를 보완하기위한 증발 도구 (옵션) 를 장착 할 수 있습니다. 허머 엑스 (HUMMER X) 는 에셋이 안정적인 성능을 제공할 수있는 일련의 견고한 부품을 갖추고 있습니다. 이 모델에는 스퍼터 이온화를위한 110KW 펄스 (pulsed) 전원 공급 장치와 예외 증착률 제어가 포함되어 있습니다. 또한 15.6 "RF-Planar Magnetron (RF-Planar Magnetron) 을 갖추고 있으며, 단일 펄스로 넓은 목표 영역과 코팅 균일성을 제공합니다. 또한, 이 장비에는 최적화된 프로세스 제어를 위해 설계된 최첨단 소프트웨어 패키지가 제공됩니다. ANATECH/TECHNICS HUMMER X는 운영자 안전과 편의를 염두에두고 설계되었습니다. 안전 연동 시스템 (Safety Interlock System) 과 같은 안전 기능 (Safety Features) 과 안전한 작업 환경을 보장하는 퍼지 및 통풍 장치 (Purge and Venting Unit) 가 포함됩니다. 또한, 이 기계는 컴팩트하고 모바일 (mobile) 으로 설계되었으며, 기존 구성 환경에 쉽게 통합될 수 있습니다. 전반적으로 ANATECH HUMMER X 스퍼터링 도구는 박막 증착에 효과적인 도구입니다. 탁월한 적용 범위 및 속도 제어를 통해 최적화된 스퍼터링 프로세스를 제공합니다. 이 자산은 안전성과 편리함을 염두에 두고 설계되었으며, 기존 제작 환경에 손쉽게 통합할 수 있습니다 (영문).
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