판매용 중고 ANATECH / TECHNICS HUMMER VI-A #9032075

아나텍/테크닉스 허머 (ANATECH/TECHNICS HUMMER VI-A) 는 표면 및 재료의 살균 및 코팅에 사용되는 박막 증착을 위해 설계된 아트 스퍼터링 장비의 상태입니다. 우수한 증착률 균일성을 위해 고급 고전압, DC 마그네트론 스퍼터링 시스템이 특징입니다. ANATECH HUMMER VI-A는 다양한 장치 설계를 통해 PVD (Physical Vapor Deposition), CVD (Chemical Vapor Deposition) 및 ALD (Atomic Layer Deposition) 와 같은 다양한 스퍼터링 기술에 적합합니다. 스퍼터링 머신은 회전 대상 (rotating targets) 기능을 사용하여 금, 알루미늄, 스테인리스 스틸 등 다양한 대상을 사용할 수 있습니다. 보기 창을 사용하면 스퍼터링 프로세스 중에 대상이 계속 표시됩니다. 목표는 고품질, 신뢰성 있는 클램프를 사용하여 효과적이고 안전하게 클램프되고 제자리에 고정됩니다. 이 툴은 하이엔드 (High-End) 기술을 사용하여 광범위한 기판 크기에 걸쳐 장기적인 작동과 정확한 증착 균일성을 보장합니다. TECHNICS HUMMER VI-A는 또한 디지털 타이밍, 펄스 제어, 자동 차단 기능을 제공하여 사용자가 증착 주기를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 에셋은 또한 target-to-substrate distance, applied power, gas flow, pressure, pulse width 등 다양한 프로세스 매개 변수를 제공합니다. 이 모델은 광범위한 안전 프로토콜을 특징으로하며, 과전류 보호 기능, 전압 제한 기능, 장애 감지 기능이 내장되어 있습니다. 스퍼터링 (Sputtering) 장비는 극도의 정밀도를 위해 설계되었으며 증착률 및 균일성을 최적화하기 위해 내장 폐쇄 루프 제어 시스템을 포함합니다. 이 장치 는 고급 위치 감지 장치 (advanced position sensing machine) 로, 기판 과 표적 사이 의 거리 를 정확 하게 계산 하여 몇 "미크론 '이내 까지 유지 한다. 이는 증설 율의 일관성을 보장하는 데 도움이됩니다. 박막의 빠르고 정확한 증착을 위해 HUMMER VI-A는 최대 압력 5.0 x 10-3 Torr 및 5 x 10-9 Torr 범위에서 궁극적 인 압력을 달성 할 수있는 진공 펌핑 자산을 제공하는 진공 도구를 갖추고 있습니다. 이 모델에는 광범위한 공정 가스 (process gase) 와 통합 온도 감지 장비 (integrated temperature sensing equipment) 가 있어 준비 과정의 정확성이 향상되었습니다. ANATECH/TECHNICS HUMMER VI-A는 다양한 재료 및 기판의 박막 증착을 위해 설계된 다목적 스퍼터링 시스템입니다. 고급 제어 장치 (High-End Control Unit), 자동 안전 프로토콜 (Automated Safety Protocol), 맞춤형 증착기 (Customizable Deposition Machine) 를 갖춘 이 툴은 전문 기술자 및 연구원의 전문 요구를 충족하는 강력한 솔루션입니다.