판매용 중고 ANATECH / TECHNICS Hummer V-A #159053

ANATECH/TECHNICS Hummer V-A 스퍼터링 장비는 박막의 PVD (physical vapor deposition) 를위한 고급 장치입니다. 마그네트론 스퍼터링 (magnetron sputtering) 의 높은 균일성과 아크 증발의 유연성을 결합한 고급 증착 기술입니다. "스퍼터링 '" 시스템' 은 최고 40kW 의 힘 을 가지고 있으므로 여러 가지 응용 에 적합 하다. DC 펄스 전원 공급 장치와 PVD 챔버로 구성됩니다. 전원 공급 장치에는 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 가 장착되어 있어 사용자가 장치 매개변수를 설정하고 모니터링할 수 있습니다. PVD 챔버 (PVD chamber) 에는 목표를 잡기 위해 로봇 암이있는 직사각형 또는 라운드 대상 홀더가 있습니다. 진공 진공 또는 저압 조건에서 작동 할 수 있도록 진공 밀봉됩니다. 챔버에는 절연 기판 홀더와 가스 주입기가 있습니다. ANATECH Hummer V-A 도구는 높은 수준의 반복 성과 재생성을 가지고 있습니다. DC 스퍼터링을 사용하여 뛰어난 균일성과 일관된 레이어 구성을 가진 필름을 입금합니다. 이 자산은 또한 고도로 자동화되어 있으며, 금속, 산화물, 기타 필름 등 다양한 물질과 함께 사용할 수 있습니다. 다른 재료에 쉽게 조정할 수 있기 때문에 EVA 프로세스에 이상적인 e-gun을 가지고 있습니다. 이 모델에는 목표와 기판의 냉각을 촉진하기 위해 특별히 설계된 냉각 장비 (cooling equipment) 도 포함되어 있습니다. 냉각장치 는 표적, 기판, 약실 의 부분 을 식히는 냉각 "코일 '한 세트 로 이루어져 있다. 냉각 장치 는 열 "스트레스 '를 감소 시킴 으로써 퇴적 된" 필름' 의 질 을 향상 시키는 데 도움 이 된다. TECHNICS Hummer V-A 기계는 클러스터 도구와 같은 다른 스퍼터링 장비와 함께 사용할 수도 있습니다. 이러한 장치를 조합하면 프로세스 유연성을 높이고 주기 시간을 줄일 수 있습니다. 또한, 이 도구에는 고출력의 우발적 방전을 방지하는 전자 연동 자산 (electronic interlock asset) 과 같은 안전 기능이 장착되어 있습니다. 전반적으로, ANATECHHummer V-A 스퍼터링 모델은 물리적 증기 증착을위한 강력하고 신뢰할 수있는 장치입니다. 다용도 (Versatiable) 장비로, 광범위한 애플리케이션에서 사용할 수 있으며, 균일성 (Unifority) 과 반복성 (Repeatability) 측면에서 탁월한 성능을 제공합니다. 자동화된 본성 (automated nature) 은 쉽게 사용할 수 있게 해 주며, 안전 (safety) 기능을 갖추고 있어 운용이 안전한 방식으로 수행되도록 보장합니다.