판매용 중고 ANATECH / TECHNICS HUMMER IV-A #9004324

ANATECH/TECHNICS HUMMER IV-A는 연구 및 생산 환경의 표면에 얇은 필름을 배치하도록 설계된 고품질 스퍼터링 장비입니다. DC, RF, 펄스 주파수 스퍼터링 (pulse frequency sputtering) 등 다양한 정전기 스퍼터링 공정을 사용하여 다양한 물질로부터 필름을 증착 할 수 있습니다. 이 다용도, 비용 효율적인 시스템은 금속, 산화물, 안경, 도자기 및 플라스틱을 포함하여 크고 작은 기질을 수용 할 수 있습니다. 스퍼터링 장치 (Sputtering Unit) 는 손쉬운 수송을 위해 통합 전원 공급 장치가있는 소형의 발-인쇄 친화적 인 스테인리스 (Stainless) 스틸 케이스에 장착되어 있습니다. 스퍼터링 챔버 (sputtering chamber) 의 직경은 250mm, 높이는 400mm이므로 다양한 기판 크기에 적합합니다. 챔버는 가변 압력 제어 (최대 8 'Pa) 를 특징으로하여 증착 중 필름 균일성을 향상시킬 수 있습니다. 이 기계에는 5 개의 회전 가능한 스퍼터링 대상 (직경 13.5 ") 세트가 장착되어 여러 재료를 동시에 증착 할 수 있습니다. 이 도구에는 최대 1100 Hz의 펄스 반복 주파수를 가진 RF 생성기가 장착되어 있으며, 최대 50 kHz의 프로그래밍 가능한 RF 스퍼터링 주파수를 제공합니다. 안정된 플라즈마 대기 및 최적의 박막 증착 결과를 보장하기 위해 조절 가능한 가스 흐름 및 압력 조절기 (pressure regulator) 가 포함되어 있습니다. 추가 기능으로는 환경 제어를 강화하기위한 클로즈드 루프 냉각 (closed-loop cooling) 및 환기 자산, 균일 한 기판 온도 제어를 위한 열전대 제어 난방 모델, 다양한 스퍼터링 매개변수를 쉽게 프로그래밍할 수 있는 사용자 친화적 인 소프트웨어 등이 있습니다. 업계 최고의 성능으로 유명한 ANATECH HUMMER IV-A (ANATECH HUMMER IV-A) 는 연구원과 제작 엔지니어가 응용 프로그램에 완벽한 영화 결과를 얻을 수 있도록 설계되었습니다. 다양한 디자인과 최첨단 (최첨단) 기능을 통해 다양한 스퍼터링 작업을 선택할 수 있습니다.