판매용 중고 ANATECH / TECHNICS HUMMER 8.1 #9055839

아나텍 허머 (ANATECH Hummer) 8.1은 얇은 재료를 기판에 입금하도록 설계된 일종의 스퍼터링 장비 중 하나입니다. 2 단계 디자인과 기능의 배열은 정확한 필름 증착과 고도의 프로세스 제어를 가능하게합니다. TECHNICS Hummer 8.1에는 1 단계 스퍼터링 챔버, 고 진공 공정 챔버 및 2 개의 저 진공 시스템이 있습니다. 1 단계 챔버에는 스퍼터 코팅을위한 W 형 SHS 소스가 포함되어 있습니다. 이 챔버에는 인사이트 (in-situ) 대상 교환을위한 목표 이동 시스템과 다양한 스퍼터링 제어 옵션이 장착되어 있습니다. 고 진공 공정 챔버에는 압력 안정성을위한 터보-분자 펌프 (turbo-molecular pumped quad-plasma machine) 와 cryo 이온 에칭 유닛 및 터보-분자 펌프 쿼드-플라즈마 머신이 포함되어 있습니다. 고진공 챔버 (high-vacuum chamber) 와 1 단계 스퍼터링 챔버 (sputtering chamber) 는 다양한 전원 설정에서 작동 할 수 있습니다. ANATECH/TECHNICS Hummer 8.1은 사용자에게 다양한 스퍼터링 프로세스를 수행 할 수있는 기능을 제공합니다. 이 장치는 RF, DC 및 펄스 스퍼터링과 같은 다양한 스퍼터링 기술을 사용할 수 있습니다. 또한이 도구는 또한 아치 (Arches), 마그네트론 (magnetron) 및 PVD와 같은 다양한 에칭 프로세스를 갖추고 있습니다. 또한, 에셋을 사용하여 스퍼터링 프로세스 설정을 정확한 요구 사항에 맞게 구성할 수 있습니다. 또한 ANATECH Hummer 8.1에는 광범위한 현장 진단 및 프로세스 모니터링이 있습니다. 진단 모델에는 다양한 센서와 컨트롤러 (컨트롤러) 가 포함되어 있어 프로세스 매개변수를 실시간으로 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 또한 Hummer 8.1 은 다양한 소프트웨어 모니터링 및 제어 시스템을 제공합니다. 사용자는 프로세스의 현재 상태를 모니터링하고, 이전 프로세스 결과를 조사하고, 스퍼터링 프로세스에 대한 패턴과 프로그램을 만들 수 있습니다 (영문). 전반적으로 TECHNICS Hummer 8.1 (TECHNICS Hummer 8.1) 은 이상적인 스퍼터링 장비로, 재료의 얇은 필름을 기판에 정확하게 배치 할 수있는 기능을 제공합니다. 다양한 기능과 정밀 제어 (precision control) 를 통해 높은 수준의 프로세스를 제어할 수 있습니다. 이 시스템은 다양한 스퍼터링 (sputtering) 기술과 다양한 인사이트 (in-situ) 진단 및 프로세스 모니터링 (process monitoring) 을 수행하여 가장 진보된 스퍼터링 시스템 중 하나입니다.