판매용 중고 ANATECH / TECHNICS HUMMER 6.2 #9117363

ANATECH HUMMER 6.2는 얇은 필름의 증착에 사용되는 스퍼터 장비입니다. 그것 은 다양 한 "스퍼터 '소스 재료 를 사용 하는 강력 한 증착 도구 이며, 다양 한" 응용프로그램' 에 적합 하다. 이 시스템은 증착 공정을 완전히 자동화 할 수 있으며, 정확한 산업 응용프로그램을 위해 특별히 설계되었습니다. 스퍼터링 유닛은 기판 표면에 재료를 증착시키기 위해 고급 직류 (DC) 마그네트론 스퍼터링 기술을 사용합니다. 이 기계는 DC 스퍼터링 도구 (sputtering tool) 와 증착에 사용될 수있는 회전식 스퍼터 소스 (sputter source) 로 구성됩니다. 회전 스퍼터 소스에는 회전 소스 재료 홀더, 전원 공급 장치, 피드백 제어 에셋 (feedback control asset) 이 장착되어 있습니다. 이 모델에는 온보드 온도 컨트롤러도 있으며, 정확하고 일관된 스퍼터 증착이 가능합니다. TECHNICS HUMMER 6.2는 광대역, 단색, 각도, 정적 및 동적 스퍼터링을 포함한 다양한 스퍼터 효과를 달성 할 수 있습니다. 장비에는 균일 한 피드백 제어 시스템이 장착되어 있어 정확한 증착이 가능합니다. 또한 통제 된 균일성을 유지하면서 높은 증착률을 달성 할 수 있습니다. 이 장치에는 도체, 절연체, 반도체, 유전체와 같은 다양한 재료가 있으며, 이는 스퍼터 증착에 사용될 수 있습니다. 이 기계는 또한 다양한 응용 분야를위한 여러 챔버를 제공합니다. 챔버는 다양한 기판 크기와 재료를 수용 할 수 있으며 RF 진공 제어 도구 (vacuum control tool) 가 장착되어 있습니다. 에셋은 또한 로드 잠금 챔버 (load-lock chamber) 를 갖추고 있어 쉽고 효율적인 기판 로딩 및 언로드가 가능합니다. ANATECH/TECHNICS HUMMER 6.2에는 가스 흐름 모니터링 및 자동 경보 종료를 포함한 다양한 안전 기능도 있습니다. 이 모델에는 오프보드 액체 냉각 (Off-board Liquid Cooling) 및 강제 가스 냉각 시스템으로 구성된 고급 냉각 장비가 장착되어 있습니다. ANATECH HUMMER 6.2 (ANATECH HUMMER 6.2) 는 다양한 산업 응용 분야에 적합한 고급 스퍼터 장치입니다. 고급 자재, 신뢰성 있는 자동화 기능, 안전성 (Safety) 기능이 있어 박막 증착 어플리케이션에 이상적인 솔루션입니다.