판매용 중고 ANATECH Hummer VIII #9249717

ID: 9249717
웨이퍼 크기: 8"
Sputtering coater, 8" (3) Target systems (2" in each triangle) Pyrex chamber, 12" Dual stage vacuum pump (Rebuilt) (3) Sputter heads (3) Sources for noble metals Power consumption: 115 VAC, 60 Hz, 6 amps 220-250 VAC, 50 Hz, 3 amps Output: 0-3000 Volts, 0-30 milliamps.
아나텍 허머 VIII (ANATECH Hummer VIII) 는 얇은 필름을 저열과 고온 기판으로 증착시키기 위해 설계된 스퍼터링 장비입니다. 산화물 (oxide), 질화물 (nitride), 금속 (metal) 등 다양한 재료를 매장할 수있는 강력하고 유연성이 뛰어난 플랫폼이 특징입니다. 이 시스템은 또한 뛰어난 필름 균일성 (film unifority) 과 반복성 (repeatability) 을 제공하여 까다로운 어플리케이션에 이상적인 선택입니다. 허머 VIII에는 최대 800 ° C의 온도에 도달 할 수있는 고온 기판실이 포함되어 있습니다. 이를 통해 사용자는 다양한 고온 기판을 처리할 수 있으며, 또한 PECVD 코팅 (coating) 을 사용할 수 있습니다. HuVII는 또한 유전체 및 금속 옵션뿐만 아니라 Si/SiO2 및 SiC/SiNx를 포함한 다양한 스퍼터링 목표를 제공합니다. 이 장치의 특히 유리한 기능은 페어 (pair) 또는 멀티 대상 (multi-target) 구성의 옵션으로, 코팅 프로세스를 최적화하여 특정 특성을 갖는 재료를 생산할 수 있습니다. ANATECH Hummer VIII (ANATECH Hummer VIII) 에는 광범위한 프로세스 제어가 포함되어 있어 정확한 증착률과 두께를 유지할 수 있습니다. 이것은 가스 흐름 속도, 가스 구성, 압력, RF 전력, 스퍼터 속도 및 온도를 포함한 프로세스 매개 변수의 조합을 통해 달성 될 수 있습니다. 또한, HuVII는 기판 이동을 자동으로 제어하여 코팅 매개변수를 최적화 할 수 있도록 합니다. 허머 8 세 (Hummer VIII) 는 견고하고 유연성이 높은 플랫폼과 다양한 증착 기능으로 인해 고품질의 박막을 만드는 데 이상적인 기계입니다. 초전도체, 투명 도체, 유전체 및 자기 광학 필름의 증착을 포함하여 다양한 응용에 적합합니다. 또한, 이 도구를 사용하여 다중 레이어 스택 (multi-layer stack) 을 생성할 수 있으며, 이를 통해 특정 대상 필름 구조를 생성할 수 있습니다. 이 모든 특징은 ANATECH Hummer VIII를 얇은 필름의 증착을위한 훌륭한 선택으로 만듭니다.
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