판매용 중고 ANATECH Hummer 10.2 #9221457

아나텍 허머 (ANATECH Hummer) 10.2는 기판에 얇은 층의 물질을 침전하도록 설계된 고급 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 우수한 접착력과 상승/낙하 시간으로 금속, 합금, 산화물, 질화물 등의 균일 한 필름을 생성 할 수 있습니다. 또한 사용자 친화적 터치스크린 인터페이스를 통해 뛰어난 유연성과 제어를 제공하므로 단순한 증착 매개변수 (deposition parameter) 최적화가 가능합니다. 허머 10.2 (Hummer 10.2) 는 펄스 DC 스퍼터링 프로세스를 사용하여 제어 된 박막 성장을 보장하고 기질 충전을 사실상 제거합니다. 10 "x4" 스퍼터 영역은 여러 레이어의 넓은 영역을 증착 할 수 있습니다. 챔버 (chamber) 디자인에는 다중 영역 균일 장치 (multi-zone uniformity unit) 가 포함되어 기판의 모든 위치에서 균일 한 박막 증착이 가능합니다. 이 챔버 (chamber) 는 또한 대피 및 플라즈마 제어 공정에 대한 다수의 입구 및 콘센트 밸브 (outlet valv) 와 정확한 온도 조절을위한 기판 히터를 특징으로합니다. 이 기계는 사용하기 쉬운 수동 및 자동 흐름 제어가 가능한 가스 밸브 어레이 (gas valve array) 를 장착하여 가스와 진공 작동 사이를 전환 할 수 있습니다. 압력 센서를 사용하면 챔버 압력을 모니터링하고 도구 오작동을 신속하게 식별할 수 있습니다. 허머 (Hummer) 10.2에는 스퍼터링 (sputtering) 공정에서 기판을 보호하기 위해 열적으로 분리 된 방패와 균일 성 제어를 위해 자기 방패를 포함하여 다양한 방패 보호 장치가 제공됩니다. Hummer 10.2는 유지 보수가 쉽고 다양한 안전 조치를 갖추고 있습니다. 여기에는 장애, 과압 (overpressure) 또는 저압 (low-pressure) 발생 시 자동으로 모델을 종료하는 연동 에셋이 포함됩니다. 이 장비의 컴팩트하고 통합 된 설계로 현장 설치 및 유지 보수가 간단합니다. 전반적으로 ANATECH Hummer 10.2는 광범위한 재료 연구 응용 분야를위한 훌륭한 스퍼터링 시스템입니다. 조절 가능한 기판 가열, 가스 흐름 및 압력 제어는 사용자에게 박막 증착을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 그 커다란 "스퍼터 '영역 과 균일 함 은 여러 기판 에서 질 좋은 박막 을 생산 할 수 있음 을 의미 한다. 이 장치는 사용자 친화적이고 유지 관리하기 쉬운 패키지에서 정확한 제어를 제공합니다.