판매용 중고 AMCI GT7777 #89910
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ID: 89910
Custom Built DC Sputtering System
Rotating substrate holder
Hoist
CTI 8 cryo pump
AE MDX1K magnetron drive
MKS power supply readout
Variable orifice controller
De-installed.
AMCI GT7777 스퍼터링 장비는 박막 증착을위한 포괄적 인 시스템 솔루션입니다. 확장 가능하고 사용이 간편한 툴로서, 개발/제작 애플리케이션을 위한 박막 증착을 가능하게 합니다. GT7777 은 탁월한 프로세스 제어와 신속한 스퍼터링 (sputtering) 을 제공하는 동적 시스템으로, 비용 효율적인 패키지입니다. AMCI GT7777 장치는 저용량 생산, 연구 및 개발 또는 파일럿 라인 사용에 이상적입니다. GT7777 스퍼터링 머신 (Sputtering Machine) 은 최신 기술과 다양한 구성 요소를 활용하여 탁월한 프로세스 제어와 뛰어난 성능을 보장합니다. 고성능 박막 스퍼터링 소스, 에칭을위한 고출력 플라즈마 소스, 대상 스퍼터링 재료의 빠른 변화를위한 대상 회전 목마, 코팅을위한 가스 보조 스퍼터링, 강력한 in-situ 진공 압력 제어 도구 및 가변 전력 마이크로 파 플라즈마 소스. 어려운 박막 응용 프로그램. 또한, 자산에는 자동 대상 스퍼터링 압력 제어, 적응 가능한 공정 레시피, 고급 플라즈마 프로파일 제어, 정교한 측정 및 분석 도구 등 다양한 자동 기능이 제공됩니다. AMCI GT7777은 절대 정밀도로 필름 증착 특성을 측정합니다. 이 프로세스는 신중하게 모니터링 및 제어되어 반복 가능하고 일관된 박막 (Thin Film) 결과를 얻을 수 있습니다. 이 모델은 또한 유연한 플랫폼을 제공하여 진공 청소 (in-vacuum cleaning), 스퍼터링 전 프로세스, 웨이퍼 에지 트리밍 (wafer-edge trimming) 및 증착 후 처리 (post-deposition processing) 와 같은 프로세스 추가 기능을 통합 할 수 있습니다. GT7777의 정교한 디자인은 단순한 알루미늄 박막 (thin film) 에서 복잡한 합금 및 복합물에 이르기까지 다양한 박막 재료를 유연하게 증착 할 수 있습니다. 이 장비는 평평함, 균일성, 전기 특성 등 다양한 애플리케이션 요구 사항을 충족하는 박막 (thin film) 을 생산할 수 있습니다. AMCI GT7777 은 사용하기 쉽고 비용 효율적이며, 개발 및 운영 어플리케이션 모두에 적합합니다. 이 제품은 빠르고 쉽게 설치할 수 있도록 설계되었으며, 비용 효율적인 패키지에서 탁월한 프로세스 제어를 제공합니다. 이 시스템은 또한 빠르고 정확한 박막 (Thin Film) 을 가능하게하여 다양한 박막 증착 응용 프로그램을 제공합니다.
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