판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS New Aristo (NAR) 1200L #9293001

AKT New Aristo (NAR) 1200L 스퍼터링 장비는 박막 증착 및 에칭 응용을위한 고급 스퍼터링 시스템입니다. 최대한의 효율성과 신뢰성을 위해 설계되었으며, 다양한 스퍼터링 프로세스 조건에서 다양한 기판의 최고 품질의 스퍼터 코팅 (sputter coating) 및 에치 (etch) 결과를 보장합니다. NAR 1200L은 자동 기판로드, 언로드 및 초고진공 (UHV) 로의 전송을 갖춘 고 로드 락 진공 챔버를 갖추고 있습니다. UHV 챔버에는 최대 5 가지 스퍼터링 소스 유형을 수용 할 수있는 5 개의 포켓 터릿 (pocket turret) 이 포함되어 있으며 스퍼터링 프로세스에 대한 제어 능력을 높이기 위해 고급 멀티 스테이션 프로세스 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 또한, NAR 1200L은 최적의 프로세스 조건을 유지하면서 대형 기판을 코팅 및 에칭하는 데 이상적인 넓은 작업 영역을 제공합니다. NAR 1200L 은 다양한 구성 옵션 덕분에 고객의 특정 애플리케이션 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다. 가스 처리 장치, 챔버 내 (in-chamber) 기판 히터 및 기타 다양한 액세서리를 추가 할 수 있습니다. 최대 성능을 위해 NAR 1200L 을 사용하면 스퍼터링 매개변수를 정밀하게 세밀하게 조정하여 증착률, 재료 특성, 정확도를 높일 수 있습니다. 또한, 일관되고 반복 가능한 수준의 캐리어 가스 누출이 가능한 고급 음극 드립 기능을 제공합니다. 마지막으로, 스퍼터링 머신에는 설치 시간을 최소화하고 출력 품질을 극대화하는 지능형 설치/정렬 (Intelligent Installation and Alignment) 제품군이 장착되어 있습니다. 결론적으로, AMAT New Aristo (NAR) 1200L 스퍼터링 도구는 박막 증착 및 에칭 응용 프로그램을위한 뛰어난 결과를 제공하도록 설계된, 신뢰성이 높은 완전 자동화 자산입니다. 모델의 고급 기능 (Advanced Features) 및 구성 (Configuration) 옵션은 스퍼터링 프로세스를 완벽하게 제어하여 최고 품질을 보장합니다.