판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura P5200 #9293507

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura P5200
ID: 9293507
빈티지: 1998
Sputtering system 1998 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura P5200은 화합물과 원소 재료의 얇은 필름을 생산하기위한 최첨단 스퍼터링 장비입니다. P5200 스퍼터링 시스템은 모든 박막 (Thin-Film) 어플리케이션에 가장 다양한 기능과 안정성을 제공하도록 설계되었습니다. 강력한 듀얼 이온 건 유닛 (dual ion gun unit) 을 통해 기판 배열에서 고품질 필름을 증착 할 수 있습니다. 기계의 모든 구성 요소는 특정 증착 요구 사항에 맞게 사용자 정의, 조정할 수 있습니다. P5200 스퍼터링 도구 (sputtering tool) 에는 균일 한 코팅을 제공하면서 높은 증착률을 생성 할 수있는 고속 스퍼터링 헤드가 장착되어 있습니다. 부동 소스거리 조정 (floating source-distance adjustment) 자산은 높은 성능 요구 사항을 충족하는 한편, 비용이 많이 드는 재교정이 필요 없습니다. 스퍼터링 헤드 (Sputtering Head) 는 또한 다양한 필름 두께와 기판 크기와 모양에 걸쳐 깨끗하고 손상되지 않은 스퍼터 대상 (Sputter Target) 및 균일 한 필름을 보장하도록 설계되었습니다. P5200 스퍼터링 모델에는 강력한 컴퓨터 제어 플라즈마 소스와 동적 진공 부스터가 포함됩니다. 이중 플라즈마 소스는 반응성 스퍼터링 (reactive sputtering) 및 이온 빔 보조 스퍼터링 (ion-beam assisted sputtering) 과 같은 프로세스에 사용되는 반응성 에너지 이온 종을 생성하는 데 사용됩니다. 부스터는 박막 증착을위한 높은 수준의 진공을 제공합니다. P5200은 통합 EasyFlow 프로세스 제어 장비를 갖추고 있으며, 이 기능은 박막 (Thin Film) 에 대한 일관된 적용 범위를 제공하며 필름 증착 및 프로세스 매개변수에 대한 실시간 모니터링을 제공합니다. 통합 컴퓨터 데이터 로깅 시스템은 완전한 프로세스 기록과 제어를 제공합니다. 이 장치는 또한 시스템 성능 및 자동 프로세스 완료 (automatic process completion) 에 대한 실시간 피드백을 제공하여 작업 편의성을 위한 자동화된 프로세스 제어를 제공합니다. P5200 스퍼터링 도구는 프로세스 수율 최적화, 에너지 소비 제한, 폐기물 감소를 위해 설계되었습니다. 자산은 스테인레스 스틸 (Stainless Steel) 부품으로 구성되며 다양한 스퍼터링 프로세스를 수행하는 내구성을 위해 설계되었습니다. P5200 모델은 박막 (Thin-film) 재료 배열의 안정적인 스퍼터링에 이상적인 선택입니다.
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