판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ATON 1600 #9354651

AMAT/APPLIED MATERIALS ATON 1600은 고품질의 고정밀 박막 코팅을 생산하기 위해 설계된 스퍼터 증착 장비입니다. 스퍼터링 시스템은 다양한 응용 분야에 대한 광범위한 필름 유형을 생성 할 수있는 4kW DC 마그네트론 (magnetron) 으로 구동됩니다. 이 장치는 삽입 가능한 스퍼터 소스, 자동 기판 교환 스테이션, 인수 워크스테이션으로 구성됩니다. 매우 정확하고 장기적인 신뢰성 있는 작동을 위해 설계된 최첨단 머신입니다. AMAT ATON 1600 스퍼터링 도구에는 최적의 스퍼터링 성능을 위해 설계된 다양한 기능이 포함되어 있습니다. 스퍼터 소스는 스퍼터링 재료의 산화를 제한하고 더 높은 밀도 필름을 허용하는 RF 구동 공정을 특징으로한다. 또한, 소스는 각 타겟에 대해 독립적인 전원 수준을 가능하게 하는 조정 가능한 target-to-substrate 거리를 제공 할 수 있습니다. 또한, 설계는 빠르고 조절 가능한 스퍼터 시간을 허용하여 스퍼터링 프로세스를 보다 효과적으로 제어 할 수 있습니다. 응용 재료 ATON 1600에는 자동 기판 교환 스테이션도 있습니다. 이 "스테이션 '은 기판 이동 을 최소화 하고 기판 조절 을 개선 하여 박막" 코우팅' 의 균일성 을 향상 시키도록 설계 되었다. 또한 정교한 소프트웨어 인터페이스를 통해 기판 유형, 타겟의 회전 속도, 패스 수 (rotation speed of pass), 가스 펌프 레벨 (gas pump level), 이온 소스의 강도 등 다양한 옵션을 쉽게 구성할 수 있습니다. 마지막으로, ATON 1600 스퍼터링 (sputtering) 자산은 사용자가 스퍼터 증착 프로세스를 실시간으로 모니터링할 수 있도록 하는 취득 워크스테이션을 갖추고 있습니다. 사용자는 증착 균일성, 속도, 표면 거칠기와 같은 필름 특성을 볼 수 있으며, 최고 품질의 박막 코팅을 보장하기 위해 전력, 압력, 가스 흐름 등을 제어 할 수 있습니다. 결론적으로, AMAT/APPLIED MATERIALS ATON 1600 스퍼터링 모델은 고품질 박막 코팅을 생산하기 위해 설계된 최첨단, 고정밀, 신뢰할 수있는 장비입니다. RF 구동 스퍼터 소스 (sputter source), 자동 기판 교환 스테이션 (automatic substrate exchange station), 습득 워크스테이션 (acquisition workstation) 등의 기능을 통해 사용자는 스퍼터링 프로세스를 쉽게 구성하고 모니터링하여 최상의 결과를 얻을 수 있습니다.