판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS ATON 1600/2 PREHT #9281105

AMAT Aton 1600/2 PREHT는 물질의 물리적 증발에 사용되는 스퍼터링 장비입니다. 이 "시스템 '은 효율성 을 극대화 하기 위해 설계 되었으며, 재료 를 정확 하게 배치 하는 능력 에 기여 하는 많은 기능 을 가지고 있다. 그것 은 금속 과 절연체 를 포함 하여 거의 모든 물질 을 증착 할 수 있으며, 많은 "프로그램 '을 위한 다용도 도구 가 된다. Aton 1600/2 PREHT는 컴팩트 한 디자인을 사용하여 생산 층에서 공간을 더 효율적으로 사용할 수 있습니다. 이 장치에는 두 개의 타겟이 있으며, 다양한 필름 스택 (film-stack) 구성을 위해 다른 재료를 기판에 배치하는 데 사용할 수 있습니다. 대상의 세라믹 피드 스루 (ceramic feed-thru) 핀은 안전한 접촉과 최소 유지 관리 및 누출을 가능하게합니다. 고급 RF 자동 조정 시스템도 포함되어 있습니다. 이 도구는 생성된 주파수를 자동으로 다른 기판으로 조정하여 온도, 속도 제어 (rate control) 를 높일 수 있습니다. Aton 1600/2 PREHT에는 프로세스 효율성, 정확성 및 반복 가능성을 향상시키는 여러 기능이 포함되어 있습니다. 정밀 진공 자산은 균일 한 증착을 보장하고 오염의 위험을 제거합니다. 이 제품은 다양한 셔터 (shutter), 센서 (sensor), 컨트롤러 (controller) 및 게이지를 사용하여 모델의 각 챔버에서 일관된 압력 환경을 보장합니다. 또한 폐쇄 루프 압력 제어 장비 (closed loop pressure control) 가 장착되어 있으며, 스퍼터링 중 압력을 자동으로 모니터링하고 제어 할 수 있으며, 공압 샘플 변경 메커니즘이 있습니다. Aton 1600/2 PREHT는 또한 강력한 자동화 및 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 이 제품은 여러 계층의 소프트웨어와 하드웨어를 활용하여 장치 관리를 개선하고 비용을 절감합니다. 스퍼터링 프로세스를 사용자 정의할 수 있는 GUI (Graphical User Interface) 가 있습니다. 이 기계는 또한 동적 프로세스 모니터링 (dynamic process monitoring) 및 장애 진단 (fault diagnosis) 을 통해 스퍼터링 프로세스의 장애 또는 편차를 감지할 수 있습니다. 전반적으로 APPLIED MATERIALS Aton 1600/2 PREHT는 최고의 효율성과 정확성을 제공하는 강력한 스퍼터링 도구입니다. 강력한 자동화 및 제어 자산은 안정적이고 반복 가능한 생산 환경을 보장합니다. 컴팩트 한 "디자인 '은 생산층 의 공간 을 보존 하고 있으며, 다용도 한 표적" 모델' 은 거의 모든 물질 을 증착 할 수 있게 해 준다. 이 장비에는 박막 증착 (Thin Film Deposition), 반도체 생산 (Semiconductor production) 등 많은 응용 프로그램에 유용한 도구가 많은 기능이 있습니다.