판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 1200L #9379482
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ID: 9379482
빈티지: 2019
Sputtering system
Target: ITO / SiO2
(3) ORELIKIN LEYBOLD VACCUM / WSU 2001H Dry pumps
(3) STERLING FLUID SYSTEM
(18) SHIMADZU / TMP-1503LM Turbo pump
(2) Air tanks
2019 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS 1200L은 반도체 및 마이크로 일렉트로닉스 산업에서 박막 증착을 위해 설계된 최첨단 스퍼터링 장비입니다. 스퍼터링 (Sputtering) 은 활기찬 이온으로 대상 물질을 폭격하여 다양한 재료의 박막을 기판에 증착시키는 데 널리 사용되는 기술입니다. AMAT의 AMAT 1200L 모델은 정밀도, 신뢰성, 다용도로 유명하여 대용량 생산 환경에서 널리 사용되는 제품입니다. APPLIED MATERIALS 1200L (APPLIED MATERIALS 1200L) 의 주요 특징 중 하나는 고급 음극 설계로, 스퍼터링 프로세스를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 시스템은 마그네트론 스퍼터링 기술 (magnetron sputtering technology) 을 사용하는데, 여기서 자기장은 플라즈마 밀도를 높이고 스퍼터링 과정의 효율성을 높이는 데 사용됩니다. 그 결과, 고품질 반도체 소자를 생산하는 데 필수적인, 넓은 기판 영역에 걸쳐 박막 증착의 균일성과 반복성이 높아집니다. 1200L 장치에는 여러 개의 음극이 장착되어 있으므로 다른 재료의 공동 스퍼터링 (sputtering) 과 퇴적 된 필름의 정확한 구성 제어가 가능합니다. 이 기능은 다층 박막 (thin film) 또는 특정 재료 특성을 갖는 합금 코팅이 필요한 응용 분야에 특히 중요합니다. 또한, 이 기계는 레시피 관리 기능을 갖춘 완전하게 자동화된 프로세스 제어 도구 (process control tool) 를 갖추고 있으며, 다양한 재료 조합에 대해 복잡한 증착 시퀀스를 쉽게 프로그래밍하고 실행할 수 있습니다. 기판 처리 측면에서 AMAT/APPLIED MATERIALS 1200L 자산은 웨이퍼, 유리 패널, 유연한 기판 등 다양한 기판 크기와 유형을 수용하도록 설계되었습니다. 이 모델의 로봇 기판 처리 장비 (robotic substrate handling equips) 는 증착 중 기질의 정확한 위치 및 정렬을 보장하여 생산 공정의 높은 수율 및 재생성을 초래한다. 시스템의 진공실에는 고급 펌핑 (pumping) 및 가스 흐름 제어 시스템 (gas flow control system) 이 장착되어 있어 증착 중 공정 가스 환경을 신속하게 펌프 다운하고 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한 AMAT 1200L 은 고급 플라즈마 진단 (Plasma Diagnostics) 및 모니터링 기능을 제공하여, 최적의 박막 품질 및 균일성을 위한 실시간 프로세스 모니터링 및 제어를 지원합니다. 이 장치에는 증착 중 필름 두께, 컴포지션 및 기타 키 매개변수를 측정하기위한 현장 (in-situ) 도량형 도구가 장착되어 있으므로 원하는 사양에 맞게 프로세스 조건을 신속하게 조정할 수 있습니다. 또한 APPLIED MATERIALS 1200L 머신은 업계 최고의 안전 기능으로 설계되어 사용자 보호 및 안전 규정 준수를 보장합니다. 이 툴의 소프트웨어 인터페이스 (Software Interface) 는 프로세스 매개변수를 시각적으로 표시하고 자산 상태를 실시간으로 모니터링하는 편리한 사용자 환경을 제공합니다. 또한, 이 모델은 업계 표준 공장 자동화 프로토콜 (factory automation protocol) 과 완벽하게 호환되므로 광범위한 운영 환경에 원활하게 통합할 수 있습니다. 전체적으로 1200L 스퍼터링 (Sputtering) 장비는 반도체 업계의 박막 증착을위한 최첨단 솔루션을 나타내며, 광범위한 어플리케이션에 높은 정밀도, 안정성, 생산성을 제공합니다. 고급 기능, 다용도 디자인, 사용자 친화적 인터페이스 (User-Friendly Interface) 를 통해 제품의 뛰어난 박막 품질과 성능을 달성하려는 제조업체에게는 선호되는 선택입니다.
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