판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 1200L #9379482
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ID: 9379482
Sputtering system
Target: ITO / SiO2
(3) ORELIKIN LEYBOLD VACCUM / WSU 2001H Dry pumps
(3) STERLING FLUID SYSTEM
(18) SHIMADZU / TMP-1503LM Turbo pump
(2) Air tanks
2019 vintage.
AKT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 1200L은 다양한 재료 증착 응용 분야에 사용하도록 설계된 고정밀 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 다중 소스, 다중 마그네트론 구성을 사용하며, 각 마그네트론은 최적의 프로세스 제어를 위해 독립적으로 조정할 수 있습니다. AKT 1200L 장치는 다중 단계 순차 소스/대상 테이블 메커니즘을 중심으로 구축되어 있어 소스 (source) 에 대한 대상의 정확하고 반복 가능한 위치를 지정할 수 있습니다. 따라서 여러 소스에서 균일 한 레이어를 정확하게 스퍼터팅 할 수 있습니다. 각도 스퍼터링을 위해 소스/대상 테이블 (source/target table) 을 구성할 수도 있으며, 복잡한 모양과 구조를 증착할 수 있습니다. AMAT 1200L 기계에는 정적 EMI 차폐 제어 캐비닛과 PLC (programmable logic controller) 가 장착되어 있습니다. PLC (PLC) 는 소스 사이클링, 각 소스의 전원 수준 등 공구 프로세스를 제어하는 데 사용됩니다. EMI 실드는 스퍼터링 압력, 아르곤 흐름, RF 파워 등과 같은 프로세스 매개변수의 정확한 측정 및 일정한 모니터링을 용이하게합니다. 1200L은 또한 진동을 최소화하고 균일 한 증착을 개선하는 고급, 저진동, 자기 서스펜션 기술 (magnetic suspension technology) 을 갖추고 있습니다. 이것은 작은 영구 자석 배열에 의해 생성 된 매력적인 힘에 의해 소스/대상 테이블 (source/target table) 을 일시 중단함으로써 달성됩니다. 자산의 최첨단 자동화와 결합 된 APPLIED MATERIALS 1200L은 알루미늄, 구리, 크롬, 텅스텐, 티타늄 및 기타 합금 및 이들 재료의 산화물을 매장하는 데 사용될 수 있습니다. 이 모델은 특정 애플리케이션 요구 사항을 충족하기 위해 여러 버전으로 제공됩니다. 전반적으로 AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 1200L은 고정밀 스퍼터링 어플리케이션에 적합한 장비입니다. 다중 소스, 다중 마그네트론 시스템은 균일 한 레이어 증착을 허용하며, 고급 자동화는 일관된 프로세스 제어를 보장합니다. 자기 서스펜션 기술은 진동을 최소화하며, 낮은 EMI는 정확한 측정을 보장합니다. 요컨대, AKT 1200L은 다양한 재료 증착에 이상적인 선택입니다.
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