판매용 중고 ALCATEL / MEIVAC HEDA 2460 #9233936

ALCATEL/MEIVAC HEDA 2460은 기판에 얇은 재료 필름을 입금하도록 설계된 다목적 스퍼터링 장비입니다. 뛰어난 스텝 커버리지 (step coverage) 와 표면 품질로 균일 한 필름 예금을 생산할 수있는 높은 처리량 스퍼터링 도구입니다. MEIVAC HEDA 2460은 스퍼터링 프로세스를 정확하게 제어하는 다양한 구성 요소와 기능을 갖추고 있습니다. 알카텔 헤다 2460 (ALCATEL HEDA 2460) 의 중심에는 스퍼터링 소스에서 높은 자기장을 생성하는 내부 자석을 특징으로하는 마그네트론 (magnetron) 이 있습니다. 이 로 말미암아 "플라즈마 '는 최대 10,000" K' 의 온도 에 이르러 높은 "스퍼터 '율 을 낼 수 있다. 이 시스템에는 이온 폭격 및 필름의 표면 경화를 제공하는 이온 소스도 포함되어 있습니다. 또한, 이 장치는 in-situ 셔터를 제공하여 두께와 특성이 정확하게 정의 된 다중 레이어 (multi-layer) 를 증착할 수 있습니다. 또한 사용자는 프로그래밍 가능한 컨트롤러 (programmable controller) 를 제공하여 각 레이어의 배치 매개변수를 정확하게 정의할 수 있습니다. 여기에는 특정 프로세스 요구 사항을 충족시키기 위해 펄스 너비 (pulse width), 전원 수준 (power level) 및 증착 빈도 (frequency of deposition) 가 포함됩니다. 이를 통해 증착 프로세스와 전반적인 성능을 최적으로 제어할 수 있습니다. 컨트롤러는 또한 증착 과정을 모니터링하여 스퍼터 속도, 균일성 및 재생성에 대한 피드백을 제공합니다. 이를 통해 사용자는 매개변수를 빠르게 조정하여 균일 한 증착을 보장하고, 증착 동작을 예측할 수 있습니다. 또한 HEDA 2460 은 Tool 의 모든 기능 및 설정에 액세스할 수 있는 직관적인 인터페이스를 제공하는 Touch Screen Display 를 제공합니다. 이를 통해 사용자는 매개 변수를 편리하게 조정하고, 배치 프로세스를 모니터링하고, 나중에 사용할 수 있도록 레시피와 증착 레시피를 저장할 수 있습니다. ALCATEL/MEIVAC HEDA 2460은 복잡한 박막 증착 프로세스에 가장 적합한 선택으로, 속도, 유연성 및 정확한 두께 제어를 제공합니다. 이러한 기능을 통해 다양한 애플리케이션에서 고성능 스퍼터링 박막 (Sputtered Thin Film) 을 제작할 수 있는 경제적인 솔루션입니다.