판매용 중고 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER SCM 650 #9258696

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER SCM 650은 다양한 고전압 전원 공급 장치 및 견고한 컨트롤을 갖춘 고급, 전체 기능 스퍼터링 장비로, 정확한 증착 프로세스를 달성하고 유지합니다. 이 최첨단 PVD 시스템은 광학 코팅 (optical coating) 및 자기 데이터 저장 어플리케이션에 이상적인 박막 (thin film) 의 산업 증착을 위해 설계되었습니다. ADIXEN SCM 650은 효율적인 고전압 전원 공급 장치, 정밀한 자기 필터 및 풀 사이즈 스퍼터링 챔버로 구성됩니다. 이 챔버 (chamber) 는 최적의 열 관리를 위해 설계되었으며 매우 정확한 박막 증착을 위해 강력한 균일 한 자기장을 포함합니다. 고효율 고전압 전원 공급 장치는 박막 (thin film) 의 진공 증착을 위해 강력하고, 정확하며, 일관된 전력을 제공합니다. 전원 공급 장치는 최대 2.5kV의 고전압에서 작동할 수 있으며 0.5kW ~ 20kW (클러스터 구성) 의 스퍼터 전력을 제공합니다. 전원 공급 장치는 또한 시간 (time) 및 온도 (tempered) 레벨 제어 곡선을 사용하여 전력의 변화를 허용합니다. 알카텔 SCM 650 (ALCATEL SCM 650) 의 정확한 자기 필터는 대기 중 불순물을 걸러서 균일 한 스퍼터링 과정을 보장하는 데 도움이됩니다. 자기 필터 (magnetic filter) 는 또한 필름 증착의 균질성을 유지하여 기판에 균일 한 박막 (thin film) 을 생성합니다. PFEIFFER SCM 650에는 균일성 및 프로세스 제어를 최대화하기 위해 다양한 기능이 장착되어 있습니다. 내부 웨이퍼 모니터링 장치, 정밀 스위칭 머신, 온도 컨트롤러 및 산소 모니터가 있습니다. 또한 멀티 존 가스 분배 도구 (multi-zone gas distribution tool) 및 이중 가스 인젝터 (dual gas injector) 와 같은 고급 플라즈마 제어 시스템을 제공합니다. 가스 분사 자산 (gas injection asset) 은 온도 조절 양극과 음극으로 가스 흐름 및 온도 조절을 정확하게 제어 할 수 있습니다. SCM 650 은 광 박막 코팅 (optical thin-film coating) 및 자기 데이터 저장 매체 (magnetic data storage media) 와 같은 어플리케이션을 위한 높은 정확도의 박막 증착에 이상적인 모델입니다. 균등하고 일관된 박막 증착을 위해 일관되고, 정확하며, 고효율 스퍼터링을 제공합니다. 완전 통합된 장비는 안정적이고 정확한 프로세스를 위한 효과적이고 정확한 제어 기능을 제공합니다.