판매용 중고 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER SCM 650 #293818455
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ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER SCM 650은 다양한 기판에서 박막 증착을 위해 설계된 고급 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 종종 박막 광학 코팅과 다른 산업 응용 프로그램 (industrial applications) 의 제작에 사용됩니다. ADIXEN SCM 650에는 최대 8 개의 스퍼터 소스가 있으며, 각 소스에는 여러 개의 스퍼터 타겟으로 구성 할 수 있습니다. 스퍼터 소스는 프리미엄 전력 발전기 (premium power generator) 로 구동되며, 이온 에너지, 강도, 입사각 등을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 발전기는 또한 안정적인 작동과 효율적인 스퍼터링 프로세스를 보장합니다. ALCATEL SCM 650에는 스테인리스 스틸로 만든 고성능 진공실이 장착되어 있습니다. 이 장치는 최대 10-5 (10-5) Torr의 진공을 달성 및 유지 할 수 있으며, 이는 고품질 광학 특성을 가진 박막 (thin film) 을 효율적으로 생산하는 데 이상적입니다. 챔버에는 온도 모니터링 센서 (temperature monitoring sensor) 가 장착되어 매우 정밀한 증착 과정을 보장합니다. 이 기계에는 진공 챔버 압력 (vacuum chamber pressure) 과 스퍼터 (sputter) 전원 수준을 모니터링하기 위한 고급 컴퓨터 제어 도구가 장착되어 있습니다. 또한, 에셋에는 일정한 기판 온도를 유지하기위한 모니터링 모델이 있습니다. PFEIFFER SCM 650에는 대용량, 사용이 간편한 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 가 장착되어 증착 매개변수와 장비 정보를 제어합니다. 이 매우 직관적인 인터페이스를 통해 시스템은 다양한 프로세스 (process) 를 수행하고 다양한 기판 구성을 제어하는 데 이상적입니다. SCM 650은 다양한 기능과 성능을 극대화할 수 있도록 설계되었습니다. 고품질 컴포넌트와 고급 제어 (Advanced Control) 기능을 통해 원하는 크기, 모양, 두께를 다양한 기판에 배치할 수 있습니다. 이 장치는 또한 신뢰성이 높아 박막 증착 작업에 이상적인 선택입니다.
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