판매용 중고 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER SCM 600 #9192498

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER SCM 600은 박막 재료를 기판에 입금하는 데 사용되는 강력한 스퍼터링 장비입니다. 이 다재다능 한 "시스템 '은 적응력 이 뛰어나서, 어떤" 응용프로그램' 이든, "프라모델 '에 금속" 코우팅' 을 만들거나 집적 회로 의 생산 을 위한 것 이 된다. 이 장치는 고출력 DC 마그네트론 소스로 구동되는 3 개의 표적 스퍼터링 챔버로 구성됩니다. 원천은 차폐 케이블로 챔버에 연결되고, 스퍼터 코팅 (sputter-coated) 할 샘플은 챔버 내부의 스퍼터 홀더 (sputter holder) 에 장착됩니다. 통합 진공기는 필름 증착에 대한 최적의 수준에서 챔버 압력을 유지합니다. 공구의 주요 구성 요소는 강력하고 고정밀 입자 빔 소스입니다. 그것 은 고도 의 균일 하고 제어 할 수 있는 "이온 '광선 을 만들어 내며, 원하는 어떤 증착 속도 나 조성물 에 대해서도 자유 롭게 조정 할 수 있다. 이 소스는 뛰어난 정확도 범위를 가지고 있으며, 안정적이고 정확한 작동을 촉진하는 여러 기능을 통합합니다. 이것은 다양한 재료 증착 작업에 적합합니다. ADIXEN SCM 600에는 가스 소개 에셋 (gas-introduction asset) 이 있으며, 이를 통해 증착 과정에서 반응성 가스를 적용 할 수 있습니다. 여기에는 광범위한 프로그래밍 가능한 레시피가 포함되어 있으므로 스퍼터링 (sputtering) 프로세스를 쉽게 반복 할 수 있습니다. 이 모델은 최대 400mm x 250mm 크기의 샘플을 처리 할 수 있으며 크롬, 텅스텐, 알루미늄, 구리, 금 등 여러 필름을 선택할 수 있습니다. 알카텔 SCM 600 (ALCATEL SCM 600) 은 스퍼터링 기능 외에도, 사용자가 장비 성능을 모니터링하고 검토할 수 있는 몇 가지 옵션을 제공합니다. 여기에는 증착률 (Deposition Rate) 과 챔버 내부의 온도, 압력을 특정 시점에 표시하는 GUI (Graphical User Interface) 가 포함됩니다. 또한 GUI 는 모든 매개 변수가 지정된 범위에서 벗어날 때 시스템 진단 (System Diagnostics) 및 경고 (Alarm) 를 표시합니다. 결론적으로, SCM 600은 신뢰할 수 있고 다양한 스퍼터링 유닛으로, 광범위한 박막 증착 애플리케이션에 적합합니다. 입자 빔 소스는 일관되게 균일 한 필름을 제공 할 수있는 반면, GUI (GUI) 를 사용하면 증착 과정을 쉽게 모니터링하고 제어 할 수 있습니다.