판매용 중고 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER 620B #9315281
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ID: 9315281
Sputtering system
(2) Chambers
CTI-CRYOGENICS 9600 Compressor
(3) Cryo pump helium lines
ALCATEL 2063 Mechanical pump
ALCATEL 1005 Mechanical pump
LEYBOLD Pump Oil
HE-200 Hydrocarbon
Transfer chamber
Load lock
Generator rack
Panel frame
Hoist
PDU
Module
5 kW Generator.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER 620B는 재료 연구 응용 프로그램에 사용하도록 설계된 강력하고 신뢰할 수있는 스퍼터링 장비입니다. 그것 은 "마그네트론 '배열 을 이용 하여 고도 의 기질 가열, 정밀 한 증착" 파라미터' 조절, 증착 된 "필름 '의 뛰어난 균질 을 가능 케 한다. 이 "시스템 '은 금속, 합금, 화합물 에서 증착 두께 와 조성 을 더욱 조절 하여 반도체 에 이르는 여러 가지 물질 을 분출 할 수 있다. ADIXEN 620B (ADIXEN 620B) 는 고속 로터리 및 스윙 암 (swing arm) 메커니즘을 중심으로 구축되어 스퍼터링 전극을 한 재료에서 다른 재료로 빠르게 전환할 수 있습니다. 이는 다중 컴포넌트 박막에 필수적인 기능입니다. 이는 또한, 긴 증착 실행 중에도 목표에 대한 잠재적 분포가 균질하게 유지되도록 보장한다. 단위 (unit) 의 강력한 제어 단위는 압력, 온도, 강착 속도, 기판 바이어스, 표적의 전기 특성 등의 프로세스 매개변수를 실시간으로 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. 이를 통해 연구 응용 프로그램에 매우 정확하고, 정확하며, 신뢰할 수 있습니다. 그런 다음 기계는 다양한 메인프레임 및 사용자 인터페이스와 연결됩니다. 이 조합은 다수의 증착 매개변수를 조작하기위한 직관적 인 인터페이스 (interface) 를 제공합니다. 증착 프로세스를 프로그래밍하는 데에도 사용할 수 있습니다. 강력한 제어 장치 (power control unit) 는 또한 빠른 온도 변화와 압력 안정성 (pressure stability) 을 위해 빠른 반응 시간을 통해 공구가 매우 자동화되도록 보장합니다. 알카텔 620B (ALCATEL 620B) 는 금속, 합금, 화합물 등 다양한 물질과 함께 작동하도록 설계된 대부분의 재료 연구 목적에 적합합니다. 목표물 난방 기능이 내장되어 있으며, 액체 또는 고체에서 전자 빔을 통해 다양한 물질을 안정적이고 균일하게 증발 할 수 있습니다. 사용자 친화적 인 소프트웨어에는 협업공간 (facility) 과 추적 기능 (tracking features) 이 포함되어 있어 각기 다른 재료의 여러 계층을 증설하는 데 적합한 자산을 만들 수 있습니다. 전반적으로 620B는 재료 연구 응용 프로그램을 위해 설계된 고효율적이고 신뢰할 수있는 스퍼터링 모델입니다. 증착 매개변수와 증착 된 필름의 우수한 균질성을 잘 제어합니다. 사용자 친화적인 소프트웨어를 통해 다양한 어플리케이션에서 유연하고 안정적으로 장비를 사용할 수 있습니다 (영문).
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