판매용 중고 AJA Orion 5 #293817160
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ID: 293817160
웨이퍼 크기: 4"
Sputtering chamber, 4"
(5) Confocal sputtering guns
(3) 700-Watt Direct Current (DC) power supplies
(2) 300-Watt Radio Frequency (RF) power supplies and matching networks
(1) 50-Watt Radio Frequency (RF) power supply and matching network for substrate etch
Load lock
Rotating platen.
AJA Orion 5는 다양한 박막 기술 프로세스를 위해 설계된 스퍼터링 장비입니다. 이를 통해 사용자는 고급 PV, 디스플레이, 터치 스크린 및 마이크로 일렉트로닉 장치를위한 투명 산화물, 질화물 및 금속 유전체 필름을 만들 수 있습니다. 이 시스템에는 5 챔버 진공 스퍼터링 장치가 포함되어 있어, 두께가 최적화된 고정밀 필름 레이어를 만들 수 있습니다. 5- 챔버 (five-chamber) 기능을 통해 다양한 스퍼터 구성을 사용할 수 있으므로 다양한 애플리케이션 요구 사항을 유연하게 충족할 수 있습니다. 이 기계에는 스퍼터링 대상의 정확한 위치를 지정하기 위해 자동 6 축 또는 X, Y, Z, 롤, 틸트 및 회전 로봇 챔버가 포함됩니다. 이를 통해 스퍼터 분포 및 기하 매개변수를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한 "후드 '설계 는 조절 가능 한 자기장 을 제공 하는데, 이것 은 기판 위 의 균일 한 증착 속도 를 돕는다. 오리온 5 (Orion 5) 는 알루미늄, 실리콘, 크롬, 금 및 기타 화합물과 같은 다양한 물질에 대한 다양한 스퍼터링 대상을 제공하여 다른 성능을 제공합니다. 또한 추가 증착 기술없이 여러 기판에 스퍼터 된 입자를 직접 증착합니다. 이 도구는 사용자에게 친숙한 것으로, 프로세스 상태를 모니터링할 수 있으며 압력, 온도, 가스 흐름, 스퍼터 전류, 시간 등의 모니터 매개변수를 사용할 수 있습니다. 또한 챔버 (chamber) 및 가스 병 (gas bottle) 연결의 자동 통풍과 같은 안전 기능도 갖추고 있습니다. AJA Orion 5에는 강력한 소프트웨어도 포함되어 있으며, 사용자는 압력, 전압, 전류, 온도, 강착 압력 및 기판 크기와 같은 스퍼터링 매개 변수를 제어 할 수 있습니다. 또한 두께 (thickness), 균일성 정보 (uniformity information), 기타 필름 특성 (film characteric) 등의 데이터 분석 기능을 사용하여 프로세스를 최적화할 수 있습니다. 전반적으로 Orion 5는 사용자에게 친숙한 패키지에서 유연성, 안정성, 정밀성을 제공하는 고급 스퍼터링 에셋입니다. 5 개 챔버 설계, 다중 스퍼터링 대상 (Sputtering Target) 및 강력한 소프트웨어 기능을 통해 고급 기술 프로세스를위한 양질의 박막 (Thin Film) 을 생산할 수 있습니다.
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