판매용 중고 AJA INTERNATIONAL ATC Orion 8 #293809480
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ID: 293809480
빈티지: 2011
Sputtering system
Deposition chamber: 15.6" x 14" OD, Vacuum chamber with flange
O-Ring seal
Chamber bottom: 16.5" CF With copper gasket
No substrate heater
(1) Argon Mass Flow Controller (MFC)
(5) DC guns
No RF guns
Target: 3"
RF substrate bias:100W
Chamber body:
CF Viewport with integrated shutter, 6"
Turbopump / Gate valve (8" CF)
Vacuum gauges ((2) 2.75" CF, (1) 1.33" CF)
Substrate holder flange
Vent valve
Load-lock (10" CF)
2.75" CF and 6" CF Ports
(2) Removable stainless steel chamber liners
Integrated instrument rack
Heavy duty caster
Leveling feet and powder-coated table top
Chamber light mounted table top
Hinge for chamber top
Water mainfold with flow sensor
Vacuum pumping:
700 l/s PFEIFFER wide range turbopump with controller
Cables and delayed vent valve
8.2 CFM Alcatel dry
Lobe type backing pump with integral valve
Interconnecting plumbing
(3) DC Supplies
RF Supply
Power: 600 W
Automated 4-Way DC Switch box
Cable set
Vacuum gauge:
GRANVILLE-PHILLIPS 307 Gauge controller
(3) Head outputs with Nude ion gauge, convectron gauge and Baratron gauge heads: 100 mTorr
QUARTZ Crystal thickness monitor:
Single low profile
Crystal sensor
Heat sink
Controller
Oscillator
Cable
(10) Crystals
Substrate holder:
(3) Accommodates, 3"
Continuous motorized rotation: 0 to 40 RPM, Controller
Standard transferable, aluminum, 7" OD x 0.25"
Custom transferable, aluminum, 7" OD x 0.25"
RF/DC Biasing capability
Power supply: 100 W
Gas handling:
Mass flow controlled gas line (Ar): 100 SCCM with pneumatic isolation valve filter
Pressure control / Vacuum valves:
VAT Series 64 Closed loop
Automatic pressure control
Isolation gate valve
Manual vent valve
CF Size: 8"
Load lock:
Low volume aluminium chamber
Single billet
Removable loading door
Magnetic transfer arm with custom susceptor
Full range vacuum gauge
Wide range: PFEIFFER 80 Litres p/s
Compound turbomolecular pump with delayed vent
TMP Controller
Interconnecting plumbing
(4) CFM Alcatel mechanical backing pumps
Isolation gate valve: 10" CF
Main chamber with load-lock adaptor flange
2011 vintage.
AJA INTERNATIONAL ATC Orion 8은 박막 증착 기술의 상당한 발전을 나타내는 최첨단 스퍼터링 장비입니다. 이 다목적 시스템은 박막 증착 공정 (Thin Film Deposition Process) 에 대한 높은 정밀도와 제어가 필요한 연구 및 산업 응용 프로그램의 요구를 충족시키기 위해 설계되었습니다. 이 장치는 마이크로 일렉트로닉스 (microelectronics), 광학 (optics), 재료 과학 (material science) 등 다양한 분야에서 일하는 연구자와 엔지니어들에게 선호하는 다양한 혁신적인 기능과 기능을 자랑합니다. ATC 오리온 8 (ATC Orion 8) 의 주요 특징 중 하나는 고급 마그네트론 스퍼터링 기술로, 기판에서 박막을 정확하고 균일 하게 증착 할 수 있습니다. 기계 는 "마그네트론 '의" 스퍼터링' 원 을 이용 하여 "가스 '원자 를 이온 화 하여 기판 표면 에 증착 시켜서 탁월 한 두께 조절 과 균일성 을 가진 박막 을 만들 수 있게 한다. 이 기술은 높은 증착율과 뛰어난 필름 품질을 보장하며, AJA INTERNATIONAL ATC Orion 8은 고성능 박막이 필요한 다양한 어플리케이션에 이상적입니다. ATC 오리온 8 (Orion 8) 에는 최대 8 개의 스퍼터링 소스가 장착되어 여러 재료 레이어를 배치하고 복잡한 박막 구조를 만들 수있는 유연성을 제공합니다. 이 도구는 금속, 합금, 산화물 등 다양한 대상 재료 (target material) 를 제공하여 사용자가 특정 요구 사항에 따라 증착 과정을 사용자 정의할 수 있습니다. 또한, 에셋은 회전 기판 홀더를 특징으로하며, 이는 균일 한 필름 두께 분포가있는 넓은 영역에 증착을 가능하게한다. 제어 및 모니터링 기능 측면에서 AJA INTERNATIONAL ATC 오리온 8 (Orion 8) 에는 사용자 친화적 인 인터페이스가 장착되어 있어 증착 프로세스를 손쉽게 운영 및 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 이 모델에는 고급 프로세스 제어 소프트웨어 (Advanced Process Control Software) 가 장착되어 있어 기체 흐름, 전원 수준, 증착 시간 등의 증착 매개변수를 정확하게 조정하여 원하는 필름 특성을 달성할 수 있습니다. 또한, 이 장비에는 영화 증가와 두께를 실시간으로 모니터링할 수 있는 인사이트 (in-situ) 진단 도구가 장착되어 있어 높은 재현성과 일관된 필름 품질을 제공합니다. ATC 오리온 8 (Orion 8) 은 확장성을 염두에 두고 설계되었으며, 진화하는 연구/운영 요구 사항을 충족하는 추가 기능과 기능을 갖춘 시스템을 업그레이드할 수 있습니다. 이 장치는 장기적인 안정성과 성능 일관성을 보장하기 위해 고품질 구성 요소 및 소재로 제작되었습니다. 또한, 이 기계는 소형 발자국을 갖추고 있으며, 공간이 제한된 실험실 환경에 적합합니다. 전반적으로, AJA INTERNATIONAL ATC Orion 8 스퍼터링 도구는 높은 정밀도, 유연성 및 신뢰성이 필요한 박막 증착 응용 프로그램을위한 최첨단 솔루션입니다. ATC 오리온 8 (Orion 8) 은 고급 마그네트론 스퍼터링 기술, 다중 스퍼터링 소스 및 사용자 친화적 인 인터페이스를 통해 연구자와 엔지니어들에게 새로운 박막 재료 및 구조를 탐구하기위한 강력한 도구를 제공합니다. 학계 나 업계에서, AJA INTERNATIONAL ATC Orion 8은 박막 증착 능력을 발전시키려는 사람들에게 신뢰할 수있는 선택입니다.
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