판매용 중고 AJA ATC Orion 5 UHV #9049698
이 품목은 이미 판매 된 것 같습니다. 아래 유사 제품을 확인하거나 연락해 주십시오. EMC 의 숙련된 팀이 이 제품을 찾을 수 있습니다.
확대하려면 누르십시오
판매
ID: 9049698
빈티지: 2006
Sputter coater
Currently configured for manual operation, fully automatic capable
Substrate bias and rotation
(3) Independent sputter guns
(2) DC Power supplies, 500W
RF Power supply, 300W
Substrate size:
< 5.75" diameter (sputter-up) with z-axis shift (2")
Rotation to 20 rpm
Heating up to 800ºC with RF bias capability to 50 W RF
Sputter guns:
(3) 2" O.D. Targets
With integrated shutters for RF or DC (metallics/dielectrics) sputtering
Confocal, sputter-up arrangement
Capable of being upgraded to (5) cathodes
Power supplies:
(2) ADVANCED ENERGY 500 W DC supplies
1300 W Seren RF generator with manual impedance match and selector switch
Substrate heating:
PID Temperature programmable controller
(2) 1000 W Quartz lamps for heating inside water-cooled reflector box
Vacuum generation:
PFEIFFER 500 L/sec turbo pump
With magnetic bearing on vac side and ceramic bearing on motor side
Backed by ADIXEN ACP15 dry rotary lobe pump: Oil-free deposition system
Sputtered: metals and metal oxides:
Copper
Precious metals
Nickel
Iron
Vanadium
Molybdenum
Aluminum
Alumina
Carbon / Graphite
Currently de-installed and stored in a cleanroom
2006 vintage.
AJA ATC Orion 5 UHV는 높은 수준의 정확도와 정밀도를 가진 가공 재료에 사용되는 스퍼터링 장비입니다. 이 고급 시스템은 6.5x10-7 Torr의 최대 진공 압력을 유지할 수있는 강력한 고진공 장치를 사용합니다. 5 개의 표적 스퍼터링 챔버가 있으며, 8 개의 접지 된 가열 된 양극이 있으며, 고출력 및 저전력 스퍼터링 작업을 포함하여 다양한 스퍼터링 구성이 가능합니다. 이 기계는 또한 조정 가능한 대상-기판 거리, 자동 고속 플라즈마 클리닝 기능이있는 모듈 식 설계 (modular design) 를 포함합니다. 스퍼터링 기능 외에도 ATC Orion 5 UHV 도구는 기판에 대한 온도 조절을 제공합니다. 이 에셋은 최대 500 ° C의 활성 난방 범위 (active heating range) 를 지원하여 기판 표면의 정확한 온도 제어를 가능하게합니다. 이 기능은 열 처리가 금속 화 (metalized) 성분의 특성에 크게 영향을 줄 수 있기 때문에 필름 형태 및 조성을 더 잘 제어합니다. AJA ATC Orion 5 UHV는 목표 표면을 오염시키지 않고 정확한 코팅 증착을 가능하게하기 위해 정확한 동작 제어를 제공합니다. 모션 컨트롤을 사용하면 선형 (linear) 및 나선형 (helical) 스캔 패턴을 사용하여 유연한 프로그래밍을 통해 필름 증착률을 보장할 수 있습니다. 또한 진동 스캔 모델 (oscillation scan model) 이 특징이며, X-Y 평면에서 표적을 진동시켜 표적 간 확산의 효과를 줄여 표적을 정확하게 스캔합니다. 마지막으로, ATC Orion 5 UHV는 스퍼터링 프로세스 매개변수 내에서 정확성과 반복성을 보장하기 위해 고급 자동화 장비를 갖추고 있습니다. 이 시스템에는 컴퓨터 제어 작업, 다중 프로그램 시퀀싱 기능, 사용자 친화적 인 그래픽 프로그래밍 도구 등이 포함되어 있어 작업을 쉽게 수행할 수 있습니다. 또한 스퍼터링 매개변수와 매개변수를 추적하여 코팅 결과의 반복성과 재생성을 보장합니다. 전반적으로, AJA ATC Orion 5 UHV는 강력하고 정밀한 스퍼터링 유닛으로, 박막 증착 공정을 수행하는 데 이상적입니다. 활성 난방 범위 (active heating range) 및 정확한 동작 제어는 재료의 강착을 더 잘 제어합니다. 자동화된 기능을 통해 효율성을 극대화하고, 재료 처리 시간을 단축할 수 있습니다. 이러한 기능을 통해 ATC Orion 5 UHV는 많은 박막 응용 프로그램에 적합한 솔루션입니다.
아직 리뷰가 없습니다