판매용 중고 AIRCO TEMESCAL HRS 2550 #89776
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ID: 89776
Sputtering system
3 RF targets
Auto / manual valving
Direct drive mechanical pump
Diffusion pump
CV 14, 14 kW E-beam power supply
Upgrade to CTI 10 Cryopump head with compressor available at additional cost.
AIRCO TEMESCAL HRS 2550은 고급 박막 증착 응용 프로그램을 위해 AIRCO/Temescal이 설계 한 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 다양한 기판에서 유전체, 금속, 반도체의 증착에 널리 사용되는 높은 신뢰성, 대용량 시스템입니다. HRS 2550은 높은 정확성과 반복 가능한 결과를 위해 강력한 듀얼 플래튼 스퍼터링 장치를 갖추고 있습니다. 이 장치는 최대 4 개의 기판을 수용 할 수 있으며, 추가 다용도를 위해 각 챔버에 조정 가능한 셔터를 갖추고 있습니다. AIRCO/TEMESCAL AIRCO TEMESCAL HRS 2550 머신에는 고급 디지털 제어 모듈이 장착되어 있어 정확한 매개변수 관리 및 고도의 재료 증착이 가능합니다. 디지털 컨트롤에는 멀티 프로세서 도구 모니터, 내장 언어 인터프리터, 실시간 클럭, 통합 모션 컨트롤러 등이 포함됩니다. 이를 통해 에셋은 사용자가 정의하지 않은 모드에서 작동할 수 있으며, 다양한 박막 (Thin-film) 응용 프로그램에 대해 미리 설정된 매개변수를 선택할 수 있습니다. AIRCO/Temescal HRS 2550 모델에는 증착의 정확성과 정확성을 보장하는 고급 스퍼터링 구성 요소 (예: 자기 구동 스위칭 및 이중 셔터 메커니즘) 도 포함되어 있습니다. 자기 구동 스위칭 (magnetic drive switching) 장비를 사용하면 스퍼터링 배치 속도를 쉽고 정확하게 선택할 수 있으며, 정확하고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 이중 셔터 메커니즘은 정확한 필름 두께 제어를 제공하며, 고르지 않은 기판에서도 정확하고 반복 가능한 박막 증착을 허용합니다. AIRCO/TEMESCAL AIRCO TEMESCAL HRS 2550 시스템은 또한 내장 된 RIE (Reactive-Ion Etching) 기능을 제공하여 박막 재료를 정확하게 에칭할 수 있습니다. RIE 기능은 또한 복잡한 다중 레이어 패턴화를 가능하게 하며, 정확도가 높은 박막 광택 및 수동화를 제공합니다. 전반적으로 AIRCO/Temescal HRS 2550은 정확하고 반복 가능한 박막 증착을 위해 설계된 고성능 대용량 스퍼터링 장치입니다. 이 기계는 내구성이 뛰어나고 안정적이며 고급 디지털 컨트롤, 정확한 스퍼터링 구성 요소, 반응성 이온 에칭 기능을 갖추고 있습니다. 따라서, 하이엔드 박막 증착 및 에칭 응용 프로그램을위한 이상적인 도구입니다.
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