판매용 중고 AGILENT / HP / HEWLETT-PACKARD / KEYSIGHT 3290 #9247552
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ID: 9247552
Sputtering system
With wafer heater power supply
(2) MKS 250 Controllers
Remote source meter
FLUKE 1722A Instrument controller
Wide range thin film monitor control
FLUKE 8840A Digital multimeter
Wafer loader control
Inner locking and interface chassis control
VARIAN Vacuum controller
Shutter monitor control
VARIAN 8800RS Vacuum ionization gauge
RF Matching controller
Cassette motor control
VARIAN Turbo-V-301-AG Controller
VARIAN Temperature monitor
Power cabinet
(2) AGILENT / HP / HEWLETT-PACKARD / KEYSIGHT 6286A DC Power supplies
Power: 20 V, 10 A
Deposition source control
(2) CPI CPW-12/480 Power supplies
PLASMATHERM HFS1000D RF Generator
CTI-CRYOGENICS 8200 Compressor
(2) EDWARDS OQDP40 Vacuum pumps
NESLAB System III Chiller
With THORNTON Digital control
TOSHIBA 4200FA System.
AGILENT/HP/HEWLETT-PACKARD/KEYSIGHT 3290 Sputtering Equipment는 다양한 디스플레이, optoelectronics 및 기타 과학 응용프로그램을위한 박막 및 다층 스택 증착을 위해 설계된 현대적인 고성능 장비 조각입니다. HP 3290 시스템은 프로세스 제어 장치 (Control Unit) 가 통합된 완전 자동화된 멀티 소스 플랫폼으로, 반복 가능한 프로세스를 수행할 수 있습니다. AGILENT 3290 Unit에는 4 개의 독립적 인 자기 보조 스퍼터링 소스, 회전, 기울기 및 움직이는 스퍼터링 대상 및 카운트 다운 타이머가 있습니다. 모든 컴포넌트를 다른 스트립 속도 (strip rate), 가변 각도 (varying angles) 및 기타 매개변수에 맞게 조정하여 배치 프로세스를 최적화할 수 있습니다. KEYSIGHT 3290 (KEYSIGHT 3290) 의 다양한 소프트웨어 기능을 사용하면 데이터 관리, 간편한 결과 전송, 프로세스 정보 액세스, 집약적인 라이브러리 기능 등이 가능합니다. 영화 두께, 크기, 균일 성, 기타 매개변수와 필름 증착의 다른 중요한 측면을 포괄적으로 추적합니다. HEWLETT-PACKARD 3290 머신 (Machine) 은 다양한 재료 및 기판에 대한 폐쇄 루프 (closed-loop) 자동 압력 제어 및 분석 도구를 제공하여 실제 현장 프로세스 제어를 지원합니다. 이 자산은 압력과 품질 판독의 일관성을 유지하는 독립적 인 벤치 탑 계측 (bench-top instrumentation) 을 갖춘 2 단계 연소실이있는 가스 혼합 모델을 갖추고 있습니다. 구성 가능한 전원 공급 장치는 최대 4 개의 플라즈마 소스를 실행할 수 있으며, 이를 통해 균일하고 깨끗한 증착을 달성할 수 있습니다. 3290 스퍼터링 장비 (Sputtering Equipment) 는 장갑 상자 내에 컴포넌트를 배치 할 수있는 자체 포함 자동 열 진공 장치 (Automated Thermal Vacuum Unit) 를 갖추고 있으며, 제어 된 대기로 최대 250 ° C의 온도와 샘플 기판을 기계적으로 보유 할 수 있습니다. 이 설정은 비용이 많이 드는 진공실 및 기타 고가의 부품이 필요하지 않습니다. AGILENT/HP/HEWLETT-PACKARD/KEYSIGHT 3290은 뛰어난 반복성과 일관된 결과를 제공하여 비용 및 소재 폐기물을 줄이면서 생산성을 향상시킵니다. 다재다능한 특성상, HP 3290 (VPD 3290) 은 통제된 환경에서 빠르고 고품질의 영화를 스퍼터링하려는 모든 실험실 또는 리서치 센터를위한 완벽한 장비입니다.
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