판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON PHP Oven for ACT 8 #9314751

ACT 8 용 TEL/TOKYO ELECTRON PHP Oven은 다양한 중요한 석판 프로세스에 사용되는 고급 포토 esist 장비입니다. 광전자 층 (photoresist layer) 의 정확하고, 반복 가능하며, 일관된 개발을 지원하는 기능의 조합을 제공하는데, 이는 반도체와 마이크로 일렉트로닉 장치 제조에 필수적입니다. ACT 8 용 TEL PHP Oven은 고급 독점 진공 기술을 사용하여 뛰어난 라인 에지 및 라인 너비 제어를 통해 고해상도를 달성합니다. 또한, 이 시스템은 최상의 프로세스 성능을 제공하는 최적화된 형상을 가지고 있습니다. 또한 PHP 오븐 (PHP Oven) 은 균일성과 반복성을 향상시키고 빠른 열 전달을 제공하는 새로운 에너지 전달 장치를 갖추고 있습니다. 뿐 만 아니라, 이 "오븐 '" 에너지' 는 프로세스 의 반복성 과 재현성 을 보장 하고 필요 한 고성능 을 제공 하기 위하여 정확 하게 모니터링 되고 제어 된다. 또한 ACT 8을위한 TOKYO ELECTRON PHP Oven에는 광범위한 통합 모듈 식 프로세스 옵션이 포함됩니다. 이들은 현대 포토 esist 프로세스의 특정 평면 화, 석판 촬영 및 노출 후 베이킹 요구를 처리하도록 설계되었습니다. 예를 들어, 특수 프로세스에 프로그래밍 가능한 플로팅 핫플레이트 및 멀티 존 (multi-zone) 옵션을 사용할 수 있습니다. PHP 오븐은 우수한 해상도, 라인 에지 균일성 및 반복 가능한 입자가없는 결과를 가진 포토 esist 레이어를 개발할 수 있습니다. 또한, 통합 된 포스트 프로세싱이 필요한 경우, PHP 오븐은 중요한 클린 프로세스를 위해 통합 애쉬 오븐 (ash oven) 과 결합 될 수 있습니다. 요약하면, ACT 8의 PHP 오븐 (PHP Oven) 은 여러 기능을 결합하여 고성능 및 최적의 프로세스 반복성을 보장하는 고급 포토 esist 기계입니다. 즉, 우수한 포토레시스트 (photoresist) 레이어를 빠르고 신뢰할 수 있는 방식으로 생산하는 한편, 특화된 프로세스에 통합 모듈 옵션을 제공합니다. 따라서, 그것은 중요한 석판화 및 평면 화 프로세스에 이상적인 선택입니다.