판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9399007

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA는 마이크로 전자 장치 생산을위한 완전히 자동화 된 에치 원자로입니다. 첨단 공정 기술과 혁신적인 재료 (Innovative Materials Technology) 를 활용한 수직 원자로 (Vertical Reactor) 는 클린 룸 (Clean Room) 과 유사한 환경에서 둘 이상의 기판 사이의 높은 정밀도 전송 및 재료 제어를 가능하게 합니다. 원자로는 실리콘, 게르마늄 및 기타 II-VI 재료 (직경 최대 5 인치) 를 포함하여 다양한 기질 및 재료를 처리 할 수 있습니다. 또한 AMAT CENTURA 원자로는 하이-k 및 로우-k 물질을 모두 식각 할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS CENTURA 원자로의 기술은 AMAT APPLIED MATERIALS 부서의 입증 된 첨단 재료 연구 및 개발을 기반으로합니다. CENTURA는 Chemraze 및 Plasma Clean 시스템을 통합하여 정확하고 안정적인 프로세스 흐름을 허용하는 2 드로 캐비닛을 갖추고 있습니다. 또한 원자로에는 3 개의 공정 모듈이 장착되어 있습니다. 플라즈마 애셔 (Plasma Asher) 는 높은 정확도 에치 제어를 제공합니다. 기판 표면에 사용자 정의 도펀트 패턴을 생성하는 기화기 (Vaporizer); 화학 및 광학 이미징 기능을 모두 제공하는 Counterflow Channel. AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA 원자로는 또한 최첨단 하프늄 기반 플라즈마 제조 기술을 사용하여 마스크 패턴을 정확하게 재현하고 기판에 초정밀 전기 접촉을 만듭니다. 또한 최적화 된 청소, 에칭 및 에칭 화학을 하나의 구성 요소에 통합하는 3 단계 펌프 모듈을 통합합니다. 따라서 운영 주기 내내 청결 함, 균일성, 처리 정확성이 유지됩니다. 또한, AMAT CENTURA에는 단일 운영자가 원자로의 모든 기능에 액세스하고 제어 할 수있는 디지털 인터페이스 (digital interface) 가 장착되어 있습니다. 응용 재료 센츄라 (APPLIED MATERIALS CENTURA) 에서 발견 된 고급 공정 (Advanced Process) 과 재료 기술의 조합으로 업계에서 가장 안정적이고 효율적인 반응로 시스템 중 하나가 될 수있었습니다. 제대로 유지되면, CENTURA의 기능은 정교하고 정확한 마이크로일렉트로닉 (microelectronic) 장치와 부품을 생산하려는 제조업체에 이상적인 솔루션이 됩니다. 이 기술은 현재 고가의 장치와 연결선 (Connecting Line) 을 생산하는 데 사용되고 있으며, 다른 여러 분야에서도 사용되고 있습니다.