판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9390594

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enabler는 넓은 영역의 박막 증착 프로세스를 만들기 위해 설계된 원자로입니다. 공업 등급 증착 장비로, 증착 공정을 위해 웨이퍼를 준비합니다. AMAT Centura Enabler는 균일성과 균일성이 높은 박막 (thin film) 의 성장, 수정 및 수리를 용이하게하도록 설계되었습니다. 이 시스템에는 컴퓨터 제어 온도 관리 챔버 (computer-controlled, temperature-managed chamber) 가 있어 증착 중 웨이퍼 온도를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 장치는 특허를받은 고급 저압 증착 프로세스 (Advanced Low Pressure Deposition Process) 를 사용하여 넓은 지역에 걸쳐 초박막 (Ultra-Thin Film) 을 균일 하게 증착 할 수 있습니다. 저압 프로세스는 하단 및 측면 차폐 (bottom and side shielding) 를 필요로 하지 않으므로 처리량 및 생산성이 향상됩니다. 약실 (chamber) 은 저속 질소 환경을 특징으로하며, 이를 통해 기질로의 재료를 빠르게 옮길 수 있습니다. 질소 환경은 또한 증착 속도의 변화를 방지함으로써 공정 균일성과 일관성을 향상시킵니다. 이를 통해 기판에 증착 된 물질을 더 고르게 분포 할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Centura Enabler는 다양한 물질 증착 공정에 사용될 수 있지만, 휘발성 산화물 필름에 특히 적합합니다. 또한 Centura Enabler 는 고급 이미징 기능을 제공하여 25 나노미터 이하의 기능을 찾아서 측정할 수 있습니다. 또한 빠른 자동 초점 기능 (auto-focus feature) 을 통해 가능한 최단 시간 내에 품질 이미징 데이터를 얻을 수 있습니다. 동적 자동 초점 (dynamic autofocus) 은 또한 샘플 서피스에서 가장 약간의 지형 변형을 가진 경우에도 이미징 대상이 기판에 정확하게 등록되도록 보장합니다. 또한 이 도구는 사용자가 샘플의 위치를 정확하게 조정하고 설정할 수 있는 숫자 디스플레이 (Numeric Display) 를 제공합니다. 이 와퍼의 정확한 포지셔닝을 통해 프로세스 및 수율 무결성 (integrity) 에 대한 정확하고 반복 가능한 측정이 가능합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enabler는 재료 유형에 관계없이 고품질, 균일 및 균질 한 박막을 기판 웨이퍼에 증착 할 수있는 고급 산업 등급 자산입니다. 이 모델은 또한 고급 이미징 (advanced imaging) 기능과 일관성 있고 반복 가능한 측정을 위해 기판을 정확하게 포지셔닝합니다. 따라서 고수율 무결성과 품질로 처리량을 높일 수 있습니다.