판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9390091
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판매
ID: 9390091
Etcher
(2) DPS II Chambers
AXIOM Chamber
KAWASAKI 3NX540B-A303 Robot
Controller
MISC
Missing parts:
VHP Robot and driver
Rapid OE of AXIOM.
AMAT 및 AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA 원자로는 고급 반도체 및 태양 광 장치 제조에 사용되는 고급 도구입니다. 이 원자로는 종종 클린 룸 환경에서 실리콘 기반 장치의 대량 생산에 사용되는 화학 및 물리적 증기 증착 (CVD/PVD) 시스템입니다. 응용 재료 (APPLIED MATERIALS) 및 AMAT 센츄라 (AMAT CENTURA) 시스템은 뛰어난 품질과 높은 처리량으로 인해 태양 전지 및 기타 고급 광전자 생산에 선호되는 선택입니다. AMAT/APPLIED MATERIALS 및 APPLIED MATERIALS CENTURA 원자로에는 고급 화학 및 물리적 증기 증착 챔버가 장착되어 있으며, 고도로 통제되고 밀접하게 모니터링되는 환경에서 기판에 고품질 필름을 생성 할 수 있습니다. 원자로는 각각 다른 전구체를 포함하는 여러 개의 소직경 튜브로 구성됩니다. "튜브 '는 가열 되어 열 또는" 플라즈마' 환경 을 만들어 내며, 전구체 분자 들 이 분해, 반응 및 재조합 하여 "기판 '에 제어 된 균일 한" 필름' 을 증착 시킬 수 있게 한다. 필름의 두께와 구성은 미리 정해진 사양에 따라 모니터링되고 조정됩니다. 원자로는 기질의 전기 및 광학 특성을 수정하기 위해 어닐링 (annealing) 프로세스에 사용될 수도 있습니다. 또한 원자로에는 푸리에 변환 적외선 분광법 (FTIR), 잔여 가스 분석 (RGA), 레이저 유도 형광 (LIF) 및 질량 분석법 (LIF) 과 같은 다양한 기술을 사용하여 증착 과정에 대한 고정밀 모니터링이 가능합니다. 또한, 이 진단 기능을 통해 필름 증가와 프로세스 성능에 대한 지속적인 모니터링이 가능하며, 높은 수율과 뛰어난 장치 안정성을 제공합니다. AMAT 및 CENTURA 원자로는 고급 공정 기능을 제공하며 고급 안전 기능을 갖추고 있습니다. 원자로는 모듈식 (modular) 과 고효율로 실험실 (laboratory) 과 산업 환경 (industrial settings) 의 응용 분야에 적합합니다. 이 원자로는 또한 다양한 두께의 다양한 기판 (기판) 과 필름 (필름) 을 처리 할 수 있기 때문에 상업용으로 대규모 장치를 생산하는 데 이상적입니다. 또한 이러한 디바이스는 자율적으로 작동하여 일괄 처리 (batch) 를 지속적으로 자동화할 수 있습니다. 전반적으로, APPLIED MATERIALS 및 AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA 원자로는 견고한 설계, 고정밀 모니터링 기능 및 고급 안전 기능으로 인해 반도체 및 태양 광 장치 생산에 선호되는 선택으로 남아 있습니다. 원자로 (Reactors) 는 두께와 구성이 균일한 청소 환경에서 고품질 필름을 생산할 수 있으며, 안정성과 고품질 장치를 생산할 수 있습니다.
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