판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9389470

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA 원자로는 고성능 풀 사이즈 반도체 처리 장비입니다. 이 제품은 최적화된 열 제어 기능을 제공하며, 반도체 제작에 필요한 다양한 에칭 (etching), 증착 (deposition) 및 기타 처리 단계를 수행하도록 설계되었습니다. AMAT CENTURA는 여러 웨이퍼 하중을 보유 할 수있는 챔버 (chamber) 와 각각 최대 4 개의 웨이퍼를 포함하는 하중 잠금 장치 (load lock) 를 갖추고 있습니다. 고정밀 이온 소스, 플라즈마 소스 및 자동 웨이퍼 전송 메커니즘이 장착되어 있습니다. 이 시스템은 또한 챔버 압력 (Chamber Pressure), 온도 (Temperature), 가스 흐름 속도 (Gas Flow Rate), 이온 소스의 전력 및 주파수 설정 등 포괄적인 프로세스 제어 옵션을 제공합니다. APPLIED MATERIALS CENTURA 원자로는 65W 전원 공급 장치로 구동되며, 최대 100% 의 주문형 전력을 공급할 수 있습니다. 이 장치에는 온도 조절 모듈 (temperate control module) 과 여러 히터 (heater) 세트가 장착되어 있어 처리 챔버의 정밀하고 빠른 열 사이클링이 가능합니다. 챔버는 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며 테플론 반도체 가스 안전 쉴드로 둘러싸여 있습니다. 청결도 및 입자 제어를 극대화하기 위해, 이 기계는 또한 자동화된 고성능 에지 용접 (edge-weld) 제거 및 유출 모니터링 시스템을 갖추고 있습니다. CENTURA 원자로는 산화물 에칭 및 증착, 질화물 에칭 및 증착, CVD, PVD 및 PECVD 및 프론트 사이드 에치와 같은 고급 증착 공정, 등 다양한 공정 단계를 수행 할 수 있습니다. 고급 프로세스 제어 소프트웨어 (Advanced Process Control Software) 를 사용하면 프로세스 매개변수와 가스 흐름, 챔버 압력 모니터링, 챔버 냉각 시간 관리 등을 정확하게 정의할 수 있으며, 이 모든 작업을 통해 다른 시스템과 비교할 때 더 높은 정확도와 프로세스 품질을 얻을 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA (응용 재료 센츄라) 원자로는 모든 반도체 제작 설비에 귀중한 추가 기능으로, 고성능 및 정밀도를 제공하는 도구의 기능을 제공합니다. 프로세스 단계 범위, 고급 프로세스 제어 (Advanced Process Control) 및 고온 (High Temper) 은 최고 품질의 결과를 제공하여 성능 및 출력 품질을 향상시킵니다.