판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9384520

ID: 9384520
CVD System ICP.
AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA 원자로는 과학 연구 및 산업 중심 응용 분야에 사용하도록 설계된 중급 증착 도구입니다. 반도체 (semi-conductor) 와 폴리머 (polymer) 와 같은 박막 재료의 성장에서 에칭 (etching) 과 도핑 (doping) 에 이르기까지 다양한 기술 응용 프로그램에 적합한 고성능, 효율적, 신뢰할 수있는 도구입니다. 일반적으로 AMAT CENTURA 원자로는 3 가지 주요 부품, 즉 가스 전달 챔버, 소스 및 기판 홀더로 구성됩니다. 가스 전달 챔버에는 화학 물질 (산화물, 할라이드, 수 소화물 등), 비활성 가스 및 도펀트와 같은 가스 공급원이 있습니다. "소오스 '즉 표적 은 각각의 반응 혹은 증착 형태 에 따라" 에너지' 의 광선 을 발생 시킨다. 그 다음 에 이 "빔 '은 기판" 홀더' 에 놓인 기판 으로 향하게 되는데, 이 기판 은 기판 의 위치 를 정확 히 제어 하도록 설계 되었다. 물질과 에너지의 이 세대 및 방향 운송은 가스 조절기, 셔터, 빔라인 (beamline) 요소, 광자 전원 공급 장치 등 다양한 구성 요소에 의해 조절됩니다. 챔버, 소스 및 기판 홀더를 포함한 APPLIED MATERIALS CENTURA의 다양한 구조 구성 요소는 강력한 컴퓨터 콘솔을 통해 연결 및 조정됩니다. 이 콘솔은 증착 과정을 정확하고 복잡하게 제어할 수 있으며, 평균 웨이퍼 두께의 균일성 (+/-0.1 미크론) 을 통해 뛰어난 성능을 제공합니다. 또한, 이 콘솔은 사용자 친화적이며, 샘플 로딩 및 원격 작동이 가능하며, 레시피 프로그래밍 (recipe programming) 및 실시간 프로세스 모니터링 (realy-time process monitoring) CENTURA 원자로와 같은 기능은 매우 안정적이며, 장애 없이 일관되고 정확하게 수행할 수 있습니다. 고품질, 뛰어난 그래프화 (graphization) 및 산화 저항으로 박막 (thin-film) 재료를 만들 수 있으며, 향상된 시스템 아키텍처와 효율적인 전력 제어를 통해 에너지 소비를 크게 줄일 수 있습니다. 전반적으로 AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA 원자로의 작동은 간단하고 신뢰할 수 있으며 뛰어난 성능을 제공합니다. 온도 균일성 (excellent temperity) 과 고증착율 (high deposition rate) 은 다양한 박막 증착 과정에 적합한 도구임을 의미합니다. 또한 효율성이 높고 신뢰성이 뛰어나며, 비용 효율적인 최고 (top-of-the-line) 증착 도구로, 모든 산업 또는 연구 애플리케이션에 적합합니다.
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