판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9382907
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enabler는 고급 제작 기술에서 반도체 재료의 에치 및 증착 처리를 위해 설계된 최첨단 반응 장비입니다. 높은 정확도, 고속 소형 기능 크기 에치 (etch) 프로세스를 위한 초고속 플랫폼을 제공하며, epitaxial 및 nano-scale 기술을 증강할 수 있습니다. AMAT Centura Enabler 반응 시스템은 고급 가스 전달 장치, 고효율 진공 펌프 및 통합 제어 기술을 결합하여 복잡한 제조 프로세스에 대한 반응 조건을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 기계는 통합 플랫폼에서 최적의 작동을 위해 설계되었으며, 설치와 작동이 용이하도록 고급 GUI (Graphical User Interface) 가 제공됩니다. APPLIED MATERIALS Centura Enabler에는 여러 개의 고효율 진공 펌프가 포함되어 있으며, 이는 공정 매개변수에 대한 고품질 및 신속한 응답을 달성할 수 있습니다. 통합 가스 전달 도구 인 C2gEX ™ (C2gEX ™) 는 외부 펌핑 및 내부 펌프 가스 배달을 조합하여 뛰어난 안정성과 정확성을 제공합니다. 에셋에는 증착과 에치 프로세스 (etch process) 매개변수에 대한 정확한 제어가 가능한 고유한 제어 모델도 포함되어 있습니다. 여기에는 압력 제어, 가스 흐름 제어, 양극 전력 조절, 온도 조절과 같은 고급 기능이 포함됩니다. Centura Enabler는 고급 기능 외에도 뛰어난 균일성과 뛰어난 반복성을 제공합니다. 이 장비는 최적 안전 및 안정성을 위해 설계되었으며, 화재 방지 (Fire Protection) 및 장애 안전 플라즈마 스타트 모듈 (Failsafe Plasma Start Module) 과 같은 안전 기능이 내장되어 있습니다. 이 시스템은 또한 저온 작동과 저열 스트레스를 제공하여 신뢰성 향상, 프로세스 다운타임 감소를 지원합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enabler는 고급 에치 및 증착 프로세스에 이상적인 솔루션입니다. 탁월한 성능과 정확한 제어를 제공하므로, 많은 반도체 제작 프로세스에서 선호되는 선택입니다. 이 장치는 업계 최고의 표준 (Industry Standard) 을 충족할 수 있도록 설계되었으며, 다양한 애플리케이션에 대해 안정적이고 반복 가능한 결과를 제공합니다. 또한 가장 혁신적인 고급 재료 (Advanced Materials) 와 호환되도록 설계되었으며, 가능한 한 높은 수율을 제공합니다.
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