판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9358629
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AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA는 광범위한 재료와 웨이퍼를 처리하도록 설계된 CVD (Advanced Chemical Vapor Deposition) 원자로입니다. 공정 (process) 조건을 정확하게 제어하여 처리할 수 있도록 하는 고급 장비 (advanced equipment) 설계가 있습니다. 첨단 제어 시스템 (Advanced Control System) 은 올바른 온도와 압력으로 웨이퍼를 처리하며, 증착은 웨이퍼 전체에서 균일하고 일관성이 있습니다. 또한 고순도 가스의 꾸준한 흐름을 제공하는 자율 조절 가스 전달 장치 (self-regulating gas delivery unit) 가 있습니다. 아마트 센츄라 (AMAT CENTURA) 의 챔버 (chamber) 는 자유형 예금의 유병률을 줄이기 위해 특별히 설계되었으며, 부산물이나 오염 물질을 제거하여 프로세스 신뢰성과 반복성을 향상시킵니다. 또한 강력한 듀얼 모드 전원 공급 장치 (RF 및 DC 전원) 를 사용하여 증착율을 독립적으로 제어할 수 있습니다. 증착 과정의 속도와 균일성을 향상시키기 위해 고급 플라즈마 소스 (advanced plasma source) 도 사용됩니다. 응용 재료 센츄라 (APPLIED MATERIALS CENTURA) 에는 완전 자동 클리닝 및 퍼지 머신 (purge machine) 이 있으며, 이 머신은 오염 가능성을 줄이고 프로세스 중에 발생할 수있는 문제를 최소화하도록 설계되었습니다. 또한 고급 소스 보트와 카세트 하우징이 있으며, 최고 수준의 정밀도와 제어를 제공합니다. 진공 플랜지 도구 (vacuum flange tool) 는 또한 최소한의 소란과 혼란으로 로드/언로드가 수행되도록 합니다. 내장형 안전 장치와 알람으로 인해 안전 기능이 향상됩니다. 센츄라 (CENTURA) 는 높은 처리량으로 매우 다양한 재료를 정확성과 일관성으로 처리할 수 있습니다. 고급 제어 자산 (Advanced Control Asset) 과 정교한 챔버 설계로 정확하고 안정적인 프로세스 제어가 가능합니다. 자동화된 청소 기능과 정교한 안전 기능으로 안전하고, 안정적이며, 효율적인 웨이퍼 처리 플랫폼이 됩니다.
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