판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9355266

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enabler는 혁신적인 전이 금속 증발 (TM-CVD) 원자로입니다. 최신 플라즈마 표면 상호 작용 기술과 고급 PECVD-CVD 호환성을 통해 독특하고 혁신적인 기판을 제공합니다. 에나블러 (Enabler) 는 고급 절연 재료 (예: 고-k 유전체 및 장벽 필름) 의 개발을 가속화하여 패키지 통합을 강화하도록 설계되었습니다. Enabler는 고급 반응 챔버 (Reaction Chamber), 온도 조절 (Temperate Control) 및 증착 시스템을 갖춘 견고한 플랫폼을 기반으로합니다. 오픈 시스템이며 다중 계층 프로세스를 지원하기 위해 여러 가스와 호환됩니다. 효율적인 설계를 통해, Enabler는 유지 관리 및 다운타임을 최소화하면서 높은 처리량과 장기적인 안정성을 제공합니다. 완벽한 자동화 제어 (Automation Control) 및 데이터 검색 (Data Retrieval) 기능을 통해 복잡한 프로세스 및 애플리케이션을 위한 탁월한 성능과 유연성을 제공합니다. Enabler는 다양한 고급 재료에 대해 높은 수준의 증착을 제공합니다. 고급 장치용 고품질 유전체 및 상호 연결 필름 (interconnect film) 을 생산하기 위한 신뢰할 수있는 플랫폼입니다. 이중 전원 공급 장치와 다중 주파수 소스 코일 (multi-frequency source coil) 은 다중 프로세스 창을 가능하게 하여 증착율 (deposition rate) 및 조성을 보다 효과적으로 제어할 수 있습니다. Enabler는 질소 흡수가 매우 적은 CMOS 장치를위한 고품질 인터페이스 레이어를 생성 할 수 있습니다. 이것은 로우-k 재료 및 차세대 통합에 이상적입니다. 그 결과, 박영화 장비와 공정에 대한 주요 파운드리 (foundries) 와 대학교가 전 세계적으로 채택했습니다. 또한 Enabler 는 저비용, 소형 크기, 효율적인 기술을 통해 자재 (material) 의 비용을 절감하고 프로세스 기능을 확장할 수 있습니다. 이렇게 하면 고성능 재료를 개발할 수 있으며, 보다 비용 효율적이고 안정적인 프로세스를 제공할 수 있습니다. AMAT Centura Enabler는 고급 플라즈마 표면 상호 작용 기술 및 PECVD-CVD 호환성을 가진 고급 TM-CVD 원자로입니다. 첨단 절연물질 (advanced insulating material) 을 개발할 수 있으며, 고급 기능을 통해 여러 프로세스 창과 여러 가스를 사용할 수 있습니다. 이중 전원 공급 장치와 다중 주파수 소스 코일 (coil) 은 증착율과 조성을 월등히 제어합니다. Enabler는 질소 흡수가 적은 고품질 유전체 및 상호 연결 필름 (interconnect film) 을 생산하기위한 훌륭한 플랫폼입니다. 비용 효율적이고 컴팩트하며 효율적인 Enabler 는 LP (Low-K) 소재에 이상적인 솔루션으로, 전 세계적으로 박막 장비와 프로세스에 적합합니다.