판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9298670

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enabler는 반도체 제조 응용 분야에 사용하도록 설계된 최첨단 기술 원자로입니다. 다단계 (multi-step) 반도체 프로세스 운영은 다양한 프로세스 제어, 로봇 공학, 자재 전송 솔루션을 통합하여 효율적으로 수행할 수 있습니다. 즉, 이 통합을 통해 처리량이 향상되고, 보다 복잡한 처리가 가능하므로 수작업 방법으로 처리할 수 없습니다. 또한 Enabler 는 고급 도량형 (Advanced Metrology) 및 분석 (Analysics) 기능을 사용하여 최적의 성능을 보장하기 위해 프로세스의 성능에 대한 정확한 피드백을 제공합니다. Enabler 는 여러 개의 상호 연결된 모듈로 구성되며 모듈식 (modular) 아키텍처를 통해 개별 구성요소를 손쉽게 교체, 업그레이드할 수 있습니다. 이러한 구성 요소에는 반응 챔버, 센서, 제어 모니터, 공정 화학 물질 및 다양한 지원 시스템이 포함됩니다. 다양한 구성 요소 간의 연결은 고급 제어 장비에 의해 유지됩니다. Enabler 의 모듈식 (modular) 설계를 통해 플랜트 플로어 (plant floor) 또는 여러 작업 셀 (work cell) 내에서 쉽게 이동할 수 있습니다. Enabler는 여러 가지 공정 챔버 (process chamber) 를 사용하여 반도체 부품을 성공적으로 제작할 수 있습니다. 나노 스케일 트랜지스터의 제조에 최적화 된 이러한 공정 챔버에는 Wet Clean Chamber, Oxide Thickness Chamber, Reactive Ion Etch Chamber, Faraday Cage 및 Etch Buffer Chamber가 포함됩니다. 각 챔버는 나노 스케일 트랜지스터 (nanoscale transistor) 의 성공적인 제작을 촉진하기 위해 특정 기능 및 구성 요소로 설계되었습니다. 또 고정밀 원격 광학 도량형 시스템 (Optical Metrology System) 을 사용하여 원자로 성능을 모니터링하고 분석합니다. 이 광학 도량형 장치 (Optical Metrology Unit) 는 전통적인 광학과 고급 디지털 이미징 기술의 조합을 사용하여 처리 중인 제품의 모양과 크기를 정확하게 측정합니다. 이 기계는 원자로 성능에 대한 피드백을 제공하고 프로세스 매개변수 (process parameters) 를 최적화하여 원하는 결과를 생성합니다. Enabler 는 구성 프로세스 동안 안전하고 안전하게 구축할 수 있는 안전 (Safety) 기능으로 설계되었습니다. 원자로에는 사용 중 공정 화학 물질 및 기타 물질을 확보하는 여러 보호 영역이 있습니다. 이러한 안전 기능에는 고급 유출 방지, 화재 감지 시스템 및 원격 제어 모니터링이 포함됩니다. AMAT Centura Enabler는 효율적인 다단계 반도체 프로세스 운영을 가능하게 하는 고도로 통합된 도구입니다. 고급 도량형 (Advanced Metrology) 및 분석 (Analysics) 을 사용하여 성능 최적화를 위한 정확한 측정 기능을 제공하며, 제조 과정에서 안전하게 사용할 수 있도록 강력한 안전 기능으로 설계되었습니다. Enabler는 나노 스케일 트랜지스터 및 기타 마이크로 일렉트로닉 구성 요소 제작에 이상적인 솔루션입니다.