판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9282471

ID: 9282471
System (5) AMAT Enabler (3) Chamber Enabler (1) Generator rack (1) EFEM with YASKAWA Robot VHP Robot TDK Loadport.
AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA는 AMAT Inc.에서 설계 한 고급 반도체 처리를 위해 제작 된 종합 플랫폼입니다. 원자로 는 "반도체 '산업 에서 광범위 한 공정" 애플리케이션' 을 가능 하게 하는 다목적 장비 로 널리 알려져 있다. 반도체 (반도체) 기기 생산의 핵심 부품으로 각종 전자제품에 사용되는 첨단 집적회로 (CI) 제작을 지원한다. AMAT CENTURA 원자로의 핵심에는 멀티 챔버 (multi-chamber) 디자인이 있는데, 이를 통해 별도의 챔버에서 다른 프로세스 단계를 실행할 수 있습니다. 이 구성을 통해 시스템은 단계 간 장비 변경 없이 다양한 처리 기술 (예: 증착, 에칭, 어닐링) 을 수행 할 수 있습니다. 원자로의 모듈식 설치 (modular setup) 는 프로세스 유연성과 효율성을 향상시켜 전반적인 생산 시간과 비용을 줄여줍니다. 응용 재료 센츄라 ENABLER (APPLIED MATERIALS CENTURA ENABLER) 장치는 챔버 내에서 공정 가스의 정확하고 균일 한 분배를 보장하는 고급 가스 전달 및 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 즉, 이러한 제어 수준을 통해 고도로 재현이 가능한 처리 결과를 얻을 수 있으며 디바이스 성능의 변화를 최소화할 수 있습니다. 또한, 원자로에는 공정 안정성 및 반복성을 더욱 향상시키는 고급 온도 및 압력 제어 메커니즘이 장착되어 있습니다. 센츄라 (CENTURA) 원자로의 핵심 강점 중 하나는 광범위한 물질 유형과 공정 화학 물질을 지원하는 능력이다. 이 기계는 실리콘, 화합물 반도체, 특수 기판 등 다양한 기판 크기와 재료를 수용 할 수 있습니다. 또한, 원자로는 화학 증기 증착 (CVD), 물리적 증기 증착 (PVD) 및 원자층 증착 (ALD) 과 같은 다양한 증착 기술과 호환되므로 정확한 제어를 통해 다양한 재료 층을 증착 할 수 있습니다. 공정 능력 측면에서, APPLIED MATERIALS CENTURA 원자로는 반도체 장치 제작에 중요한 고급 박막 증착 및 에칭 프로세스를 가능하게합니다. 이 도구의 높은 진공 기능 및 정교한 플라즈마 생성 기술 (Plasma Generation Technologies) 은 뛰어난 스텝 커버리지로 얇고 균일 한 필름의 증착을 촉진합니다. 또한, 원자로의 에치 챔버 (etch chamber) 는 높은 선택성, 균일성 및 에치 속도 제어에 최적화되어 반도체 기판에 대한 정확한 패턴 전송 및 기능 정의를 가능하게합니다. 최적의 성능과 생산성을 보장하기 위해 CENTURA ENABLER 원자로에는 종합적인 모니터링 및 진단 시스템이 장착되어 있습니다. 이러한 시스템은 프로세스 매개변수, 챔버 (chamber) 조건, 장비 상태에 대한 실시간 데이터를 제공하므로 운영자가 신속하게 문제를 식별하고 해결할 수 있습니다. 또한, 이 원자로는 프로세스 레시피 개발, 자동화, 데이터 분석, 프로세스 최적화 및 제어를 간소화하는 고급 소프트웨어 툴을 통해 지원됩니다. 전반적으로 AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA ENABLER 원자로는 반도체 처리를 위해 다양하고 신뢰할 수있는 플랫폼으로, 증착 및 에칭 프로세스를위한 고급 기능을 제공합니다. 모듈식 설계, 정밀한 가스 전달 시스템, 다양한 재료와의 호환성, 고급 공정 제어 (process control) 기능을 통해 고급 장치 제조를 위한 고성능 솔루션을 원하는 반도체 제조업체에게 선호됩니다.
아직 리뷰가 없습니다