판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9282471

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enabler는 다양한 고급 프로세스를 위해 설계된 다용도 원자로입니다. 고급 쿼츠 파우더 (quartz-powder) 양식을 특징으로하여 고온 프로세스와 초평평 표면 프로파일에 이상적입니다. 또한 저렴한 비용, 낮은 유지 보수 및 높은 신뢰성을 제공합니다. Enabler 는 다양한 기능을 통해 높은 기능, 높은 복잡성 프로세스 (예: 저온 산화물 성장, 구리 에칭) 의 요구를 충족시켜 왔습니다. Enabler는 또한 진공 증착, 전기 화학, 열 산화, 에칭, 금속 증착 및 박막 증착 과정과 같은 고급 기능을 가지고 있습니다. Enabler는 단일 챔버를 최대한 활용하도록 설계되었습니다. 설치 공간이 작고 운영 비용이 저렴합니다. Enabler 는 가장 반복 가능한 결과로 고품질 (High Quality) 기능을 만들 수 있습니다. 예를 들어, 박막 프로세스에 Enabler를 사용할 경우 최대 37nm 폭의 구조를 만들고 선 너비 제어 (Line Width Control) 와 임계 치수 충실도 (Critical Dimension Fidelity) 를 모두 사용할 수 있습니다. 또한 초고속 처리량과 저온 프로세스도 제공합니다. 병렬 프로세스에 대한 높은 정확성과 멀티 챔버 액세스를 결합한 설계입니다. 이렇게 하면 더 큰 서피스 (surfaces) 와 복잡한 구조를 생성할 수 있으며, 그렇지 않으면 달성하기가 어려울 수 있습니다. 이것은 유전체와 같은 웨이퍼 레벨 프로세스에 특히 유용하며, 이는 최대 270 nm/min의 속도로 증착 될 수 있습니다. 또한 Enabler 는 통합 프로세스 제어를 통해 높은 공정 자산 활용을 가능하게 합니다. 또한, 사용자에게 친숙한 소프트웨어 제어를 통해 프로세스 매개변수를 완벽하게 통합할 수 있습니다. 이를 통해 일관된 소프트웨어 작동이 보장되고, 격차 제어 및 기판 균일성이 가능합니다. Enabler 는 매우 강력한 기능을 갖추고 있어 다양한 고급 (advanced) 프로세스에 적합합니다. 설계 및 기능으로 인해 기존 프로세스와 새로운 연구/개발 (R&D) 모두에 적합한 선택이 가능합니다. 저비용 (low cost), 낮은 유지 관리 (low maintenance), 그리고 높은 신뢰성을 모두 갖춘 기능을 통해 다양한 어플리케이션에 적합한 솔루션을 선택할 수 있습니다.