판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9245641

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA Reactor는 에피 택시 기술을 사용하여 나노 구조를 구성하는 데 사용되는 도구입니다. 다재다능하고 유연하며 효율적인 반도체 제작 장비입니다. 3 개의 챔버가 있으며 13.56 MHz RF 소스를 사용하여 기판에 에너지를 전달하여 매우 정밀한 증착과 에칭을 허용합니다. AMAT CENTURA Reactor의 1 차 챔버는 기판 증착 시스템입니다. 이 장치는 기판에 장치 재료를 배치하는 데 사용되며, 석영 압력 균형, 고해상도 스테퍼 모터 (stepper motor) 로 제어됩니다. 이 기계는 스퍼터링, DC 마그네트론 스퍼터링, 토치 스퍼터링 및 PECVD (plasma enhanced chemical vapor deposition) 와 같은 다양한 프로세스에 대해 조정 할 수 있습니다. 이 도구는 또한 다양한 크기의 여러 기판을 동시에 처리 할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS CENTURA Reactor의 두 번째 챔버는 epitaxial 자산입니다. 이 방은 기판에 바이어스를 배치하기위한 RF 바이어스 (RF bias) 를 특징으로하며, 전자 총 (electron gun) 을 사용하여 원하는 나노 구조를 직접 쓸 수 있습니다. 이 모델은 또한 매우 높은 정밀도, 빠른 속도로 원하는 나노 구조를 에칭할 수 있습니다. 이 방은 또한 장치를 어닐링 (annealing) 할 수 있습니다. 장치 재료를 안정화하는 데 필요한 단계입니다. CENTURA Reactor의 마지막 챔버는 도량형 챔버이며, 여기에는 광학 현미경, 원자력 현미경 (AFM), 주사 전자 현미경 (SEM) 및 타원계와 같은 도량형 도구가 포함됩니다. 이러한 도구를 사용하면 나노 구조의 고해상도 이미징 (high resolution imaging) 과 특성 동역학적 분석 (kinetic analysis) 이 가능합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA Reactor는 나노 구조를 제작하기위한 신뢰할 수있는 고성능 도구입니다. 이 도구는 3 개의 챔버와 미세 조정 된 RF 시스템으로, 매우 높은 정밀도와 속도로 가장 복잡한 디자인의 나노 구조를 제작하는 데 사용될 수 있습니다. 다용도 및 효율성으로 인해 비용 효율성, 신뢰성, 나노 구조 제작 어플리케이션 (nanostructure fabrication application) 을 위한 탁월한 선택이 가능합니다.