판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9235032

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enabler는 반도체 제작 프로세스에서 통합 프로세스 제어를 가능하게하도록 설계된 원자로입니다. 이 장비는 자동화되고 통합된 환경을 제공하여 업계에서 가장 발전된 "웨이퍼 '처리 기술을 손쉽게 생산할 수 있도록 합니다. 원자로 (reactor) 는 주로 다양한 환경 요인으로부터 완성 된 반도체 장치를 코팅하고 보호하는 데 사용되는 박막 패시베이션 레이어 (thin-film passivation layer) 의 준비에 사용된다. 즉, 완료된 디바이스의 품질을 모니터링, 분석, 유지 관리하기 위해 다른 프로세스 툴과 함께 작동하는 고급 (advanced) 시스템입니다. AMAT Centura Enabler는 두 가지 주요 구성 요소로 구성되어 있습니다. 첫 번째 구성 요소는 PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 장치로, 다양한 환경 요인으로부터 장치를 보호하는 데 필요한 박막 수동화 레이어를 증착 할 수 있습니다. 이 PECVD 기계는 오염 물질이 공정에 들어가지 못하도록 밀봉되는 진공 챔버 (vacuum chamber) 로 구성됩니다. 이 도구는 플라즈마 (plasma) 를 생성하기 위해 RF (Radio Frequency) 생성기를 사용하여 가스 분자를 노출 된 표면과 반응 할 수있는 이온 및 라디칼로 분해하는 데 도움이됩니다. 두 번째 구성 요소는 Control Module 으로, 프로세스 상태를 모니터링하고 유지하는 데 사용됩니다. Control Module 은 프로세스 분석, 조정, 처리 매개변수 모니터링을 모두 담당합니다. 또한 실행 중에 프로세스 환경 설정 (process environment settings) 에 개입하고 수정하여 전반적인 디바이스 안정성을 향상시킬 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Centura Enabler (APPLIED MATERIALS Centura Enabler) 는 완벽한 웨이퍼 처리 자산의 핵심 요소로, 장치의 최고 품질과 신뢰성을 보장하기 위해 필요한 구성 요소와 기능을 제공합니다. Centura Enabler 는 PECVD 와 Control Module 을 하나의 유닛으로 통합함으로써, 최첨단 반도체 디바이스를 처리할 수 있는 안정적이고 자동화된 환경을 제공합니다.