판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9213203

ID: 9213203
웨이퍼 크기: 6"
EPI System, 6" Narrow body load lock HP Robot (2) ATM EPI Chambers Gas panel: No.
AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA는 DRAM 및 플래시 메모리 부품을 포함한 정교한 전자 칩을 제조하는 데 사용되는 고성능 크리스탈 성장 원자로입니다. 원자로 (Reactor) 는 고급 재료 특성, 고성능 장치 및 상호 연결에 이상적인 기판을 제공합니다. 원자로는 열, 전기, 가스 제어의 독특한 조합을 사용하여 반도체 제조 공정을 최적화합니다. AMAT CENTURA는 32 미크론에서 500 미크론 장치 기능으로 설계된 고급 전자 빔 보조 (E-beam) 레이저 결정화 원자로입니다. 이 원자로는 정밀한 프로세스 제어를 위해 완전한 아날로그/디지털 제어 인터페이스를 갖춘 대형 공정 챔버 (process chamber) 를 갖추고 있으며, 고성능 온도, 압력, 스파크 간격, 두께 및 사이트 당 증착이 가능합니다. 이 프로세스 제어는 전자 빔 증착 (Electron-Beam deposition) 의 가속화, 프로세스 제어 강화 및 우수한 재료를 생산함으로써 향상됩니다. APPLIED MATERIALS CENTURA는 또한 실리콘, 저마늄 및 III-V 화합물을 포함한 다양한 반도체 물질로부터 결정 성장을 최적화하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 고급 다중 요소 소스 렌즈 (multi-element source lens) 를 사용하여 다양한 증착각을 생성하여 고품질 재료와 장치 성능을 제공합니다. 뿐 만 아니라, 원자로 는 각 재료 의 독특 한 특성 들 을 인식 함 으로써, 그 원자로 의 "파라미터 '를 조정 하여 그 과정 의 조건 을 수정 할 수 있으며, 이 조건 은 즉시 사용자 에게 볼 수 있다. 원자로는 또한 다중 요소, 광학 센서 어레이 (optical sensor array) 를 사용하여 다양한 두께와 재료를 정확하게 전달할 수 있습니다. 원자로 는 각 물질 의 독특 한 특성 을 인식 하고, 공정 을 변화 시킴 으로써, 조정 된 "파라미터 '를 마련 하여 결정 의 형성 을 최적화 할 수 있다. 이 방법은 제조 제품의 결함을 줄이고, 전체 장치 성능을 향상시키는 것으로 입증되었습니다. 센츄라 (CENTURA) 는 반도체 부품의 최신 응용용으로 설계된 첨단 고성능 크리스탈 성장 원자로입니다. 이 원자로는 고효율 공정 제어 인터페이스, 다각도 증착을위한 고급 소스 렌즈 (source lens), 정밀 전력 전달을위한 광학 센서 어레이 (optical sensor array) 를 갖추고 있습니다. 뿐 만 아니라, 이 "시스템 '은 여러 가지 재료 로부터 결정 의 형성 을 극대화 하여, 그 보다 뛰어난 장치 의 성능 을 얻도록 설계 되었다. 최신 및 최고 성능의 전자 제품을 만들기 위해 특별히 설계 및 개발 된 AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA는 재료의 결정 성장, 증착 및 재질의 업계 선두주자입니다.
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