판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9204753

ID: 9204753
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2010
Etcher, 12" Process: Oxide (3) Poly chambers (1) Axiom chamber (1) EFEM with KAWASAKI Robot 2010 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enabler는 상업용 등급 반도체 생산을 가능하게하도록 설계된 최첨단 기판 처리 원자로입니다. 이 고급 에치는 반응성 빔, PVD (physical vapor deposition) 및 CVD (chemical vapor deposition) 챔버를 처리하여 처리량을 향상시키고 수율을 증가시킵니다. AMAT Centura Enabler (AMAT Centura Enabler) 의 혁신적인 설계에는 다양한 챔버 크기가 포함되어 있어 원자로 (reactor) 를 자체 생산 환경에 맞게 조정할 수 있습니다. 또한 APPLIED MATERIALS Centura Enabler는 물리적 및 환경 안전을 염두에두고 설계되었습니다. MEI (Molecular Exclustion Ink) 챔버 디자인은 이온 모서리를 사용하여 정밀한 온도 조절 열 처리를 제공하여 균일성 및 공정 반복성을 향상시킵니다. 안전성을 강화하기 위해 Centura Enabler에는 가스 흐름 제어 시스템 (gas-flow control system) 이 내장되어 있어 챔버 내에서 가스 분포를 정확하게 제어하고 일관되게 모니터링할 수 있습니다. 이 챔버 (chamber) 는 또한 내장 진공 시스템을 갖추고 있으며, 모든 구성 요소가 인감 (seal) 이나 개스킷 (gasket) 없이 단단히 밀봉되어 있는지 확인합니다. 또한, 챔버는 역 확산 이온을 최소화하고 증착 표면의 제어를 개선하고 균일성 (unifority) 과 수율 (yield) 을 개선하도록 설계되었습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enabler의 효율적인 열 관리 시스템은 또한 원자로 전체에 일관된 온도가 유지되도록 보장하여 처리 조건을 최적화합니다. 단일 벽 수직 설계는 원자로의 발자국을 줄이고 바닥 사용률을 최대화합니다. AMAT Centura Enabler (AMAT Centura Enabler) 는 또한 인체 공학적, 높이 조절 가능한 사용자 인터페이스를 갖추고 있어 원자로 작동과 제어가 용이합니다. APPLIED MATERIALS Centura Enabler는 상업용 등급 반도체 생산에 필수적인 요소입니다. 다양한 챔버 크기, 정확한 온도 조절 열 처리, 가스 흐름 제어, 진공 시스템, 개선된 균일 성 및 공정 반복 가능성, 개선 된 수율, 효율적인 열 관리, 단일 벽 수직 설계 및 인체 공학적 인터페이스, 상업 등급 생산이 안전하게 완료되도록 보장합니다. 최적 수준.
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