판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9203459

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA는 태양 전지를 만드는 것과 같이 기판 (표면) 에 얇은 층의 물질을 침전하도록 설계된 원자로 유형입니다. 태양 광 세포의 대규모 생산을 위해 특별히 설계된 물리적 증기 증착 (PVD) 원자로입니다. AMAT CENTURA (AMAT CENTURA) 는 물질의 제어 흐름을 기판에 전달하기 위해 함께 작동하는 여러 구성 요소로 구성됩니다. 메인 챔버 (main chamber) 는 내부 직경이 몇 피트 인 석영 튜브 (quartz tube) 로 구성되어 있으며, 상단과 하단에 밀봉되어 있습니다. 이 내부 챔버는 일반적으로 약 950C의 고온으로 가열됩니다. 주 챔버 (Main Chamber) 에 부착 된 2 개의 추가 사이드 챔버가 서로 다른 온도에 별도로 가열됩니다. 메인 챔버 내부에는 여러 개의 가스 입구 (gas inlet) 와 콘센트 (outlet) 가 있으며, 재료 퇴적에 사용됩니다. "가스 '입구 는 전형적 으로 수소, 플루오린화 수소, 산소 와 같은" 가스' 를 공급 하며, 배출구 는 물질 이 퇴적 되면 생성 되는 폐기물 "가스 '를 배출 하는 데 사용 된다. "코우팅 '할 기판 은 팔 에 부착 되어 있는데, 그 기판 은" 아아머' 로 옮겨져 "로봇 '동작 조절 장치 에 의하여 원하는 위치 에 놓이게 된다. 일단 재료 를 증착 할 준비 가 되면, "실리콘 '" 웨이퍼' 와 같은 표적 재료 가 기판 위 에 놓인다. 일단 목표물 이 정확 한 위치 에 있게 되면, 그것 은 두 측실 에 의해 가열 되고, "가스 '입구 는 증착" 가스' 혼합물 을 공급 하기 시작 한다. "가스 '혼합물 은 피드백 (feedback) 장치 를 이용 하여 조작 되는데, 그것 은 증착 에 원하는 특성 들 이 있음 을 보장 해 준다. 원자로 에는 또한 여러 가지 다른 과정 이 있는데, 이것 은 증착 을 조절 하는 데 사용 할 수 있다. 이를테면, 회전 하는 표적 을 사용 하여 균일 한 "코우팅 '을 한다. 일단 증착 이 끝나면 "암 '을" 챔버' 에서 인출 하고, 그 기판 을 안전 하게 제거 하고 그 위 에 있는 물질 층 을 검사 할 수 있다. 응용 재료 센츄라 (CENTURA) 는 태양 광 세포 및 기타 유형의 기술을 대규모로 증강하기위한 견고하고, 안정적이며, 효율적인 시스템입니다.