판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9203384

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA는 기판에 다양한 재료의 얇은 층을 만드는 데 사용되는 CVD (chemical vapor deposition) 원자로의 한 유형입니다. 장비는 메인 챔버 (main chamber), 챔버 벽 (chamber wall) 및 서셉터 (susceptor) 로 구성되며, 퇴적 과정에서 웨이퍼를 고정시킵니다. 챔버에는 원자로 내부의 압력을 모니터링하는 2 개의 센서가 장착되어 있습니다. 원자로는 또한 실란 (silane), 포스핀 (phosphine) 및 트리클로라이드 붕소 (boron trichloride) 와 같은 다양한 전구체를 수용 할 수 있으며, 이는 재료 층을 퇴적시키는 데 사용된다. AMAT CENTURA 시스템은 완벽한 프로세스 제어 및 모니터링, 그리고 깨끗한 환경을 제공하도록 설계되었습니다. "챔버 '벽 은 가공 중" 가스' 와 "확산 '을 줄이는 데 도움 이 되는 고질량 의" 쿼츠' 재료 로 만들어져 있어 일관성 있는 고품질 의 완성 된 층 을 보장 해 준다. "챔버 '벽 은 위 와 아래 에 여러 개 의" 배플' 을 가지고 있으며, 질소 로 가득 차 그 안 에 이상적 인 환경 을 조성 하는 데 도움 이 된다. 또한, "챔버 '벽 과 문 은 계속 되는 공기 가" 챔버' 로 흐르게 하는 배기 장치 를 갖추고 있어서, 마지막 층 을 변질 시킬 수 있는 불순물 이나 오염 물질 을 감소 시키는 데 도움 이 된다. "서셉터 '는 또한 증착 과정 에서 중요 하며, 일반적 으로 가열 된 받침대 에 부착 되는데, 이것 은 그 과정 중 에 기질 전체 의" 고온' 을 유지 하는 데 도움 이 된다. "티타늄 '질화물 과 같은 희생적 인 물질 층 으로 코팅 된" 웨이퍼' 는 "로봇 '팔 을 통해 감수기 에 실린다. 로봇 암 (robot arm) 은 또한 증착 과정에서 웨이퍼를 배치하고 프로세스가 완료되면 제거 할 책임이 있습니다. 응용 재료 센츄라 시스템 (APPLIED MATERIALS CENTURA Systems) 은 다양한 응용 프로그램을 위해 설계되었으며, 사용자는 금속, 반도체, 절연체 및 유전체의 얇은 필름을 생산할 수 있습니다. 이 기계는 또한 갈륨 비소, 인화 인듐, 산화 주석 등의 물질을 증착 할 수 있습니다. 증착 과정 은 완전 히 동봉 되어 있어서, 증착 과정 중 에 어떤 오염 물질 이나 불순물 도 도입 되지 않을 것 이며, 이것 은 완전 히 깨끗 하고 일관성 있는 "레이어 '의 재료 를 가능 케 한다. 마지막으로, 이 도구는 사용자에게 친숙한 인터페이스와 다양한 안전 기능 (Safety Features) 으로 설계되어 쉽게 작동하고 유지 관리할 수 있습니다.